Intelligent System for Mask Phase-Shifter Design

讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统，仿真系统，知识库系统，人—机接口，黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了面向对象的表示方法。     

相移掩模的制作

本文阐述相移掩模技术研究中，常用的几种主要相移掩模制作方法，重点介绍了无络ＰＳＭ、Ｌｅｖｅｎｓｏｎ交替型ＰＳＭ、边级ＰＳＭ、亚分辨辅助ＰＳＭ以及激光直写制作ＰＳＭ的方法。     

准分子激光的应用

本文介绍了准分子激光器的基本类型、主要应用领域及其与材料相互作用的机理。对准分子激光在电子工业、生物医学和材料加工方面的一些重要应用做了比较详细的论述。     

无掩模激光干涉光刻技术研究

介绍了一种不用掩模的光刻技术———激光干涉光刻技术的基本原理,给出了干涉光刻技术的主要特点及一些可能的应用,并对实验系统和初步实验结果进行了分析。研究表明,激光干涉光刻具有大视场和分辨率高和视场宽等优点。     

激光直写系统在ASIC器件制作中的应用

激光直写系统是制作光刻掩模和ASIC器件的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室引进了男内第一台激光直写系统，利用这台系统，通过高精度激光束在光致抗蚀剂上扫描曝光，能够把设计图形直接转移到掩模版或芯片上，本文介绍激光直写系统在ASIC器件制作中的应用和具体工艺。     

CCD像传感器和机器人视觉

机器人在工业领域找到广泛应用之前,有几个技术问题必须提出来。主要问题包括动力学和力学、控制系统、内部模式、编程序方法、机动性、接口以及社会经济意义等。机动性是使机器人发挥最大潜力的关键一步。当前,几乎所有的机器     

今后三十年的激光应用概况

要预测像激光器之类迅速发展的技术的发展情况，三十年的确是很长的。任何人想推测激光器在一个相当长的时期内的未来发展情况，都可能是徒劳的。但是对于5~10年的时间，倒可以作出比较准确的估计。因此，这里的讨论重点在于某些应用的近期发展情况。但也对三十年内的情况做了一些预测。     

智能传感器与“动态凝视”

用模仿人眼和脑的电子系统去识别图象和鉴别视场中的物体,对于商业和技术来说具有深远的意义。其应用范围可能包括从军事目标跟踪系统到对空监视系统,从机器人到工业安全系统。由于目前的计算能力还不能完全模仿人眼和脑识别系统,所以全世界的研究实验室的大部份努力都花费在模拟那怕是眼-脑功能系统的若干小部份上。随着计算速度和计算密度的进展,预期这种研究将产生效益。     

液晶光閥的进展

采用CdS光传感器的第一代液晶光阀(LCLV)构成了高分辨率大屏幕投影显示和光学数据处理应用的基础。一种新的第二代液晶光阀将采用Si集成电路技术以增强其性能以用于飞行员训练模拟、可见光到红外光的波长转换以及连续的电子数据的高速处理。