无透镜匹配空间滤波器相关器的实验

将一个匹配空间滤波器(MSF)和全息光学元件(HOE)结合在一个单层底板上,得到一个紧凑的光学频率平面相关器。给出图样识别相关实验数据,并对此系统的位移不变性进行了已得到实验证实的理论分析。     

掩模缺陷的激光修整

本文叙述用细微激光束修整不透明光掩模缺陷的原理、方法和实验系统,给出了实验结果并进行了简短的分析。     

全内反射全息光刻技术

介绍了全内反射（ＴＩＲ）全息光刻技术的发展情况、基本原理以及其中的关键技术。     

二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响

针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响,结果表明,二元光栅照明可显著提高光强的对比度,改善成象系统的频率传递函数,是一种比较理想的离轴照明技术。     

无透镜全息光学元件匹配空间滤波波长比例相关器

本文描述了一种比例相关器光学图样识别系统。该系统中,一种无透镜匹配空间滤波器(其第二个傅里叶变换透镜和匹配空间滤波器记录于同一块板上)跟第一个博里叶变换透镜一起使用,而第一个傅里叶变换透镜也是一种全息光学元件。以一种波长记录匹配空间滤波器,以另一种波长得到相关。文中还报道其实验证明和输出相光信噪比数据,并就系统使用常规光学元件与使用全息元件时的噪声量进行了比较。