火力发电厂凝汽器真空系统氦质谱检漏技术

本文系统地介绍了凝汽器真空系统氦质谱检漏原理和方法。它简便、快速、准确，是一项具有重大现实意义的节能技术。     

氦质谱检漏试验方法分析

从电子元器件气密性封装的原理入手,介绍了常用的检漏试验方法,阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展,分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求,并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。     

基于虚拟仪器的氦质谱检漏仪监控系统设计

基于虚拟仪器技术,使用LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统。利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪部分动作的目标。该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。     

金属与玻璃封装集成电路小漏率检测技术研究

对金属-玻璃封装集成电路的小漏率检测技术进行了研究.首先,介绍了充压式氦质谱检漏法、破坏性内部气氛含量分析法和累积型氦检漏法的原理和流程;然后,分别利用这3种方法,对某试验样品的小漏率进行了检测;最后,根据试验结果,对3种方法的优缺点和适用范围进行了总结,对于金属-玻璃封装集成电路的小漏率的检测方法的正确选择具有重要的指导意义.     

元器件氦质谱检漏失效判据的分析

比较了现行国军标中氦质谱检漏固定法与灵活法标准判据,在相同条件下,2种方法的判据有数量级上的差别。相同内腔体积的半导体分立器件、电子及电气元件和微电子器件,由于器件种类不同,封装、工艺等不同,细检漏的判据仍然存在较大差别。分析了美军标中氦质谱检漏标准判据,指出国军标和美军标氦质谱检漏标准判据存在一定的不适用性,建议元器件氦质谱检漏的标准判据应进一步改进。     

平行缝焊微电子器件的光学检漏

光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。     

用于红外探测器组件检测的超高灵敏度检漏仪

提出了一种采用累积法进行超高灵敏度氦质谱检漏的先进技术,基于该技术及相关材料特殊处理工艺设计并研制出了新型超高灵敏度检漏仪器,检测灵敏度优于8×10-15 atm.cc/s.He,是常规氦质谱检漏仪器灵敏度的1000倍以上,已成功应用于红外焦平面探测器组件等长寿命真空电子元器件产品的研制和生产工艺检测中,也是高能粒子加...     

石英膜标准漏孔的试制与测定

金属结构的高真空与超高真空系统,近年来广泛采用氦质谱仪作为检漏工具.由于氦具有很高的扩散速率,而质谱仪又是一种对极微量元素即能产生反应的仪器,因此利用氦质谱仪可以迅速、灵敏地达到检漏的目的.除了金属真空系统外,对其他电子器件外壳的检漏也同样适用.     

半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常.     

真空检漏事业的发展和展望

氦质谱检漏仪发展于 2 0世纪 40年代 ,历经半个多世纪的应用和发展 ,取得了辉煌的成果 ,从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷 ,可以说是无处不在。真空检漏就其发展来说有两个方面 ,即一方面是检漏仪器本身 ,另一方面是检漏工艺技术的发展。我国的检漏仪器制造开始于 60年代初期 ,当时的中科院科仪厂等十几家单位走仿制的道路 ,有单聚焦和双聚焦 ,普通型和超高灵敏度型等各式检漏仪 ,60至 70年代是我国仪器发展的鼎盛时期 ,真空检漏的应用领域也不断扩展 ,对仪器的品种、质量、需求量都有了很大的增…     

高功率CO2激光薄膜的离子辅助镀工艺进展

真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年，随着激光技术的发展，人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高，离子辅助沉积薄膜技术已被广泛用来作为一种改善光学薄膜特性的工艺手段。本文简单地介绍了这项技术的原理及国内外研究现状；总结了该技术的优、缺点；客观评价了该技术的应用前景；对该技术今后的研究方向提出了建议。     

彩色显像管早期失效的机理研究

介绍了几只彩色显像管早期失效的性能特征和对其失效原因的诊断过程。其间，我们先后采用了残气质谱分析、慢性漏气的快速无损检测以及氦质谱检漏等技术手段来寻找失效原因。文中，重点介绍了“慢漏快检”的原理及其检测结果；其后，从理论上分析了这类管子的早期失效机理并对相关问题进行了讨论。最后，总结出的一些对策在付诸实施后，已取得了良好的预防效果。彩色显像管的早期失效并非仅这一种原因，应该针对其性能特征来具体分析，本文只提供解决本类型早期失效管的一种方法，公供参考。     

真空设备泄漏检测技术

针对真空设备研制过程中和客户实际使用过程中真空设备出现漏气现象比较普遍,无法高效快速排除真空漏气的主要问题,结合工作实践经验,采用特种气体检测法、气泡检漏法和真空计检漏法三种技术,相互交叉结合使用,在最短时间内检出设备漏点,处理设备漏气问题,及时防护设备,节约生产维护时间。该技术具有直接性、快速性和便捷性,易学易懂。     

新型真空器件在武器装备中的应用

介绍真空电子器件和固态器件组合的新型电子器件——微波功率模块(MPM),以及将微电子工艺应用于传统真空电子器件而出现的真空微电子器件,这两种器件将对下一代武器系统有重要的影响。     

半导体制造专用设备的真空检漏

本文介绍了半导体制造专用设备的真空检漏的原理、方法 ,以及用该方法解决实际问题的一些实践经验。     

一种新型真空开关管的封接方法

介绍了一种陶瓷 不锈钢过渡立封结构 ,通过对封接强度、气密性、热烘烤试验的检测 ,证明了该方法具有封接强度高、气密性好、成品率高的特点 ,可广泛应用于真空开关管和其它真空器件的设计中。     

用扫屏放气性能表征彩显管真空质量的测试方法及其应用研究

简介了测试扫屏放气性能的原理、装置、方法、数据处理过程与误差分析.应用研究表明,寿命初期(25 h内)的扫屏放气性能就能表征彩显管的真空质量,用它可判断或比较制屏工艺与材料(包括排气工艺与设备)的优劣,预估因真空因素导致失效的整管寿命水平.这种快速信息反馈方法,比"加速寿试"更能及时地反映工艺或材料变更对成品管带来的影响.     

金属杜瓦瓶微小漏率检测

器件的漏气率大小是红外探测器搁置和使用寿命的关键因素之一,也是判断军用多元金属杜瓦瓶真空完善性的重要指标,特别是常规漏率检测手段难以探测微小漏率是长久以来影响杜瓦瓶成品率的重要因素。文中简要介绍几种真空高灵敏度微小漏率测试方法、基本原理和测试结果,针对杜瓦瓶的气密性要求采用相应微小漏率测试手段,并在生产中获得应用。