石英膜标准漏孔的试制与测定

金属结构的高真空与超高真空系统,近年来广泛采用氦质谱仪作为检漏工具.由于氦具有很高的扩散速率,而质谱仪又是一种对极微量元素即能产生反应的仪器,因此利用氦质谱仪可以迅速、灵敏地达到检漏的目的.除了金属真空系统外,对其他电子器件外壳的检漏也同样适用.