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真空氦质谱检漏原理与方法综述 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法。 相似文献
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比较了现行国军标中氦质谱检漏固定法与灵活法标准判据,在相同条件下,2种方法的判据有数量级上的差别。相同内腔体积的半导体分立器件、电子及电气元件和微电子器件,由于器件种类不同,封装、工艺等不同,细检漏的判据仍然存在较大差别。分析了美军标中氦质谱检漏标准判据,指出国军标和美军标氦质谱检漏标准判据存在一定的不适用性,建议元器件氦质谱检漏的标准判据应进一步改进。 相似文献
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卢思佳 《电子产品可靠性与环境试验》2016,(4):39-43
对金属-玻璃封装集成电路的小漏率检测技术进行了研究.首先,介绍了充压式氦质谱检漏法、破坏性内部气氛含量分析法和累积型氦检漏法的原理和流程;然后,分别利用这3种方法,对某试验样品的小漏率进行了检测;最后,根据试验结果,对3种方法的优缺点和适用范围进行了总结,对于金属-玻璃封装集成电路的小漏率的检测方法的正确选择具有重要的指导意义. 相似文献
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介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氦试验,吸附氦漏率的测试是在Inticon公司Pemicka700H型积累氮质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的。给出了试验数据、拟合模式和结果,进而分析了最新的美国军用标准MIL-STD-750—1/883J氯质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可检测性.并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案。 相似文献
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提出了一种采用累积法进行超高灵敏度氦质谱检漏的先进技术,基于该技术及相关材料特殊处理工艺设计并研制出了新型超高灵敏度检漏仪器,检测灵敏度优于8×10-15 atm.cc/s.He,是常规氦质谱检漏仪器灵敏度的1000倍以上,已成功应用于红外焦平面探测器组件等长寿命真空电子元器件产品的研制和生产工艺检测中,也是高能粒子加... 相似文献
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本文系统地介绍了凝汽器真空系统氦质谱检漏原理和方法。它简便、快速、准确,是一项具有重大现实意义的节能技术。 相似文献
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国内外普遍认为,现行军用标准有关氦质谱细检漏的测量漏率判据,对于筛选后内部水汽含量小于5 000 ppm的要求过于宽松.但标准改进中,加严判据与检测条件之间的矛盾,使人们处于困窘的局面.作者主张以氦气交换的时间常数τHe为主要变量,以严密等级τHemin为基本判据,简化了氦质谱细检漏测量漏率公式,选择了一条可更为简捷分析和处理问题的技术途径.进而推演提出了压氦法和预充氦法的最长候检时间公式,小内腔容积时再辅以二步检测法和贮存法,可从几倍到几个数量级地拓展最长候检时间,从而破解了候检时间过短这一技术瓶颈,为降低吸附漏率创造了条件,为设计加严判据要求的压氦法和预充氦法的固定方案和灵活方案,为全面改进密封性氦质谱检测方法标准提供了理论依据,对控制密封元器件长期贮存后的内部水汽、提高其可靠性有重要意义. 相似文献
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在对氦质谱细检漏漏率公式的分析和对密封腔体内外气体交换过程公式的推演中,以氦气标准漏率LHe代替等效标准漏率L,引用了氦气交换时间常数τHe,使公式更为真实和简单直观。通过漏率偏差的分析和内部气体含量的计算表明,能够应用文中的公式对密封腔体内外气体的交换过程进行工程计算。计算分析了现行某些标准中各种试验条件漏率判据所对应的τHe,着重指出漏率符合接收判据并不能有效保证内部水汽含量要求。讨论了这些标准中进行的改进、存在的密封性等级及进一步改进的必要,并提出了建议进行研究的内容。 相似文献
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在对氦质谱细检漏漏率公式的分析和对密封腔体内外气体交换过程公式的推演中,以氦气标准漏率LHe代替等效标准漏率L,引用了氦气交换时间常数τHe,使公式更为真实和简单直观。通过漏率偏差的分析和内部气体含量的计算表明,能够应用本文的公式对密封腔体内外气体的交换过程进行工程计算。计算分析了现行我国国家标准和美国标准各种试验条件漏率判据所对应的τHe,着重指出漏率符合接收判据并不能有效保证内部水汽含量要求。讨论了这些标准中进行的改进、存在的密封性等级及进一步改进的必要,并提出了建议进行研究的内容。 相似文献
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在对氦质谱细检漏漏率公式的分析和对密封腔体内外气体交换过程公式的推演中,以氦气标准漏率LHe代替等效标准漏率L,引用了氦气交换时间常数τHe,使公式更为真实和简单直观。通过漏率偏差的分析和内部气体含量的计算表明,能够应用本文的公式对密封腔体内外气体的交换过程进行工程计算。计算分析了现行我国国家标准和美国标准各种试验条件漏率判据所对应的τHe,着重指出漏率符合接收判据并不能有效保证内部水汽含量要求。讨论了这些标准中进行的改进、存在的密封性等级及进一步改进的必要,并提出了建议进行研究的内容。 相似文献
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基于内外气体交换的分子流模型,采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法,规定了检测判定程序。内部气体质谱分析,需要时辅以粗漏检测,能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测,可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测。 相似文献
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为了解决传统氦语音处理技术存在的处理速度慢、计算复杂、操作困难等问题,提出了一种采用机器学习的氦语音识别方法,通过深层网络学习高维信息、提取多种特征,不但解决了过拟合问题,同时也具备了字错率(Word Error Rate,WER)低、收敛速度快的优点。首先自建氦语音孤立词和连续氦语音数据库,对氦语音数据预处理,提取的语音特征主要包括共振峰特征、基音周期特征和FBank(Filter Bank)特征。之后将语音特征输入到由深度卷积神经网络(Deep Convolutional Neural Network,DCNN)和连接时序分类(Connectionist Temporal Classification,CTC)组成的声学模型进行语音到拼音的建模,最后应用Transformer语言模型得到汉字输出。提取共振峰特征、基音周期特征和FBank特征的氦语音孤立词识别模型相比于仅提取FBank特征的识别模型的WER降低了7.91%,连续氦语音识别模型的WER降低了14.95%。氦语音孤立词识别模型的最优WER为1.53%,连续氦语音识别模型的最优WER为36.89%。结果表明,所提方法可有效识别氦语音。 相似文献
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以“氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间”为基础,分析了密封电子元器件内部水汽不超过5 000 ppm的可靠贮存寿命,确定了细漏检测的严密等级THemin分级,界定和拓展了适用内腔容积并进行了分段,设计了压氦法和预充氦法的固定方案,验证了固定方案规定的最长候检时间可以满足去除吸附氦的要求.从而突破了国内外相关标准改进中难以或无法实施的技术瓶颈,为加严密封性判据改进相关标准,提供了可行的技术方案. 相似文献
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密封电子元器件在长时间存放后,会存在无法检测的现象.当超过密封件细漏检测的最长候检时间时,应再次压氦,然后进行细检漏.按现行的各种规范的规定,压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同,但分析表明,这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差,有时会出现大漏的漏检和细漏的错判.推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式,给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间,从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题. 相似文献
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为了银河系中心远红外的球载观测,采用了 Ge-Bolometer(锗测辐射热探测器)作为天体远红外辐射的探测器,由于气球的飞行高度在35km 附近,所以在球上的液氦致冷探测器的工作温度在1.7K 左右。本文讨论了在实验室中解决这样低温的致冷方法,最后讨论了探测器性能参数的测试装置和测试结果。 相似文献