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| 石英膜标准漏孔的试制与测定 | |
| 引用本文： | 黄心源,蔡祖泉,黄绥和,潘高春.石英膜标准漏孔的试制与测定[J].电子技术,1965(9). |
| 作者姓名： | 黄心源 蔡祖泉 黄绥和 潘高春 |
| 摘 要： | 金属结构的高真空与超高真空系统,近年来广泛采用氦质谱仪作为检漏工具.由于氦具有很高的扩散速率,而质谱仪又是一种对极微量元素即能产生反应的仪器,因此利用氦质谱仪可以迅速、灵敏地达到检漏的目的.除了金属真空系统外,对其他电子器件外壳的检漏也同样适用. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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