半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常.     

氦质谱检漏仪的进展及应用

随着科学技术的发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展和完善。一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此两者的关系是相互补充、相互促进的。     

真空设备的检漏

检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于10~(-7)托·升/秒,因而出现了氦质谱检漏仪。经过40年来的努力,质谱检漏仪的发展已趋成熟、完善,并向小型化、数字显示和自动切换量程,直接给出漏率值的方向发展。现在的灵敏度已达到10~(-13)托·升/秒的高灵敏程度。对任何一种真空设备或容器(包括电真空器     

低温容器的氦质谱检漏

分析了大、小型低温容器的氦质谱检漏的各自特点及应注意的问题,讨论了部分国产氦质谱检漏仪的应用特点。     

用ZLS-23氦质谱检漏仪装成的多用途检漏系统

ZLS-23型氦检漏仪是成都仪器厂的新近产品,该产品具有灵敏度高、操作方便、不需用冷却系统(只用液氮)就能方便的进行检漏,根据该产品说明书所述,其灵敏度可达5×10~(-10)～1×10~(-12)乇升/秒,因此使用该检漏仪作电真空器件及其他零件的检漏是一台比较理想的仪器。由于成都仪器厂出品的ZLS-23型氦质     

氦质谱检漏仪与氟油平台在元器件检漏中的应用

本简要介绍拟质谱检漏仪和氟油平台的工作原理及其在元器件检漏中的应用。     

JLH-1型氦质谱检漏仪

由于当代高真空技术的迅速发展,特别要求在金属真空容器内保持极低的压强,因此必须对真空系统设备的连接、各种真空容器和管道等进行密封试验,以消除一切可能存在的漏隙。因此在很多场合下普遍需要一种灵敏度较高的检漏仪器,来探知真空系统上极其微小的漏孔。福州无线电厂已试制成功一种 JLH-1(仿ПТИ-4А)型的氦质谱检漏仪,它是一可移式的、用氦气作探测气体的小型磁偏转质谱仪,可用于寻找金属真空系统任何部分的微漏,是一种重要的仪器。     

真空氦质谱检漏原理与方法综述

介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法。     

有关检漏的两个问题

一、对氦质谱检漏仪灵敏度的要求和使用监视漏孔(标准漏孔)。从制管出发要求检漏达到这样一个水平:凡部件和整管有漏,要求检漏一定能检出来。凡经检漏的管子能存放几年而真空度不变。为了达到这个要求,一方面要求检漏仪有足够的灵敏度,另一方面仪器使用时要求处于对氦气灵敏的工作状态。     

基于虚拟仪器的氦质谱检漏仪监控系统设计

基于虚拟仪器技术,使用LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统。利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪部分动作的目标。该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。     

GIS现场密封性试验基本方法及判定标准

GIS密封性试验通称为检漏试验，是GIS现场交接试验的最重要项目之一。本文以广泛应用的上海唐山仪表厂生产的LF-ID检漏仪为例，着重探讨GIS现场检漏方法及判断标准。     

一种新型的检漏系统

本文研究一种新型的光纤检漏系统，通过对待测件内气体状态分析，确定采用比较法充压检漏技术和先进的光纤技术，研制成既具有高检测灵敏度又稳定可靠的检漏系统，该系统已成功地用于工业生产中，对水库大坝仪器实现了在线充压检漏，确保产品质量。     

火力发电厂凝汽器真空系统氦质谱检漏技术

本文系统地介绍了凝汽器真空系统氦质谱检漏原理和方法。它简便、快速、准确，是一项具有重大现实意义的节能技术。     

半导体制造专用设备的真空检漏

本文介绍了半导体制造专用设备的真空检漏的原理、方法 ,以及用该方法解决实际问题的一些实践经验。     

检测电冰箱泄漏的六种方法

一、电子卤素检漏仪检漏电子卤素检漏仪主要用于精密检漏,应先用其它检漏方法找出明显的泄漏处后,再用电子卤素检漏仪检测不明显的泄漏点。检漏时,应使探头与补测点之间保持3-5mm距离,并掌握好探头移动速度,一般不超过50mm/s,根据检漏仪仪表读数及蜂呜器发出的声音,就能知道泄漏点和泄漏量。电子卤素检漏仪在使用过程中,应防止大量的制冷剂吸入检漏仪,还应注意环境通风良好,无卤素气体和其它雾气干扰,应在空气新鲜的场所进行检测。     

激光可视检漏仪中激光能量对灵敏度的影响

目前,六氟化硫激光可视检漏仪在电力行业的六氟化硫检漏方面得到了初步的应用,这类仪器的灵敏度受到各种因素的影响。本文详细分析了激光功率对仪器灵敏度的影响,提出了激光功率对灵敏度影响的简化数学模型。     

一种新的检漏方法——负压采样法

本文阐述了作者３０多年工作实践，总结出检漏工程中的新型检漏方法－负压采样法，它既不同于“正压法”又不同于“负压法”此法已经在工业发展中解决了实用检漏技术的难题。并对新旧检漏方法进行了对比。     

平行缝焊微电子器件的光学检漏

光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。     

火力发电厂汽轮机凝汽器真空系统的检漏技术

汽轮机凝汽器真空差一直是电力生产中长期未能很好解决的大问题，是火力发电机组实际供电煤耗远远高于设计的重要因素之一。解决真空严密性问题对降低火电机组供电煤耗和优化冷却系统参数都有重要现实作用。大量数据证明，氦质谱检漏技术是满足火力发电厂“不停机”的真空系统检测的唯一方法。它具有快速、准确、重复性好，无毒、安全、动态检测灵敏度高等优点，是值得向全国推广的节能先进技术。     

电子元器件密封试验的探讨与实践

电子元器件是军工电子产品中的重要组成部分,元器件质量的好坏直接影响到各种装备的质量且对各产品的可靠性有较大影响。密封性能是密封电子元器件质量好坏的重要标志。本文介绍了电子元器件破坏性物理分析密封试验中方法的运用、实践,总结了细检漏和粗检漏试验中应注意的问题及应对措施,从而更有效地剔除有密封缺陷的元器件,保证检测结果的准确性。