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MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计.为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法.该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新.实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计. 相似文献
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M序Walsh变换的快速算法设计 总被引:10,自引:0,他引:10
讨论了Walsh函数系的一种序一逆Walsh序(M序),利用矩阵分解法设计了4种M序的快速Walsh变换算法。 相似文献
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本文介绍几种用于常温、102~10-2Pa真空度条件下以及气体纯化领域的吸气剂。这些吸气剂具有不需要激活,在空气中有一定稳定性,在中低真空环境中吸气容量大等特点。这些吸气剂技术有别于常用的传统蒸散型钡吸气剂和非蒸散型吸气剂(需要一定的激活条件)。在某些特殊的无激活条件的真空领域,利用多种吸气剂技术组合,有效吸收多种或定向吸收某种气体,从而达到维持真空或纯化气体的作用。其显著特点就是无激活过程,并可以短时间内暴露在于燥空气中,在真空绝热板、气体纯化、大型工业杜瓦等领域具有广泛的应用。 相似文献
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序列标注是自然语言处理领域的基本任务。目前大多数序列标注方法采用循环神经网络及其变体直接提取序列中的上下文语义信息,尽管有效地捕捉到了词之间的连续依赖关系并取得了不错的性能,但捕获序列中离散依赖关系的能力不足,同时也忽略了词与标签之间的联系。因此,提出了一种多级语义信息融合编码方式,首先,通过双向长短期记忆网络提取序列上下文语义信息;然后,利用注意力机制将标签语义信息添加到上下文语义信息中,得到融合标签语义信息的上下文语义信息;接着,引入自注意力机制捕捉序列中的离散依赖关系,得到含有离散依赖关系的上下文语义信息;最后,使用融合机制将3种语义信息融合,得到一种全新的语义信息。实验结果表明,相比于采用循环神经网络或其变体对序列直接编码的方式,多级语义信息融合编码方式能明显提升模型性能。 相似文献