| 面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模 |
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| 引用本文： | 赵晓霞,李建华,凌浩,刘玉生,郭卫斌,何高奇.面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模[J].微电子学,2011,41(2). |
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| 作者姓名： | 赵晓霞 李建华 凌浩 刘玉生 郭卫斌 何高奇 |
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| 作者单位： | 1. 华东理工大学,计算机科学与工程系,上海,200237
2. 浙江大学,计算机辅助设计与图形学国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，浙江省自然科学基金资助项目，上海市自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计.为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法.该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新.实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计.
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| 关 键 词： | 计算机辅助设计 微机电系统 表面微加工 几何建模 掩模精化 |
Geometrical Modeling for Mask Refinement of Surface Micromachined MEMS Devices |
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| ZHAO Xiaoxia,LI Jianhua,LING Hao,LIU Yusheng,GUO Weibin,HE Gaoqi.Geometrical Modeling for Mask Refinement of Surface Micromachined MEMS Devices[J].Microelectronics,2011,41(2). |
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| Authors: | ZHAO Xiaoxia LI Jianhua LING Hao LIU Yusheng GUO Weibin HE Gaoqi |
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