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11.
X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
X射线光刻掩模是下一代光刻技术(NGL)中的X射线光刻技术的关键技术难点。在电子束直写后的掩模后烘过程中,掩模表面的温度场分布及温升的均匀性是影响掩模关键尺寸(CD)控制的重要因素,如果控制不当,会造成掩模表面的光刻胶烘烤不均匀,使掩模吸收体CD分布变坏。针对电子束直写后X射线光刻掩模的后烘过程建立了热模型,并采用有限元技术进行了瞬态温度场的计算。计算结果表明:采用背面后烘方式,在达到稳态时出现高温区和低温区,最大温差为10.19℃,容易造成光刻胶局部烘烤过度,而采用正面后烘方式,掩模达到稳态的时间短,温度分布均匀,烘烤效果好。  相似文献   
12.
余雷 《量子电子学报》2006,23(3):374-378
纳米技术与近场光学这一学科的结合导致了高科技领域一门新的学科纳米光子学的出现.近场光学探针和近场光学显微镜作为研究手段,使纳米光子学的研究有了可行性,而且使纳米光子学研究领域进一步扩大.在介绍纳米光子学领域出现的一些新器件与新技术的基础上,综述报道了纳米光子学在近场光化学气相制备、与量子计算的联系等方面取得的一些新进展.  相似文献   
13.
14.
关于制丝厂适煮工艺条件确定方法的研究(摘登)(续上期)五、工厂煮茧实例应用例1标准型煮茧机生产要求:减少绪丝量,提高清洁洁净,特别是减少环类。1.工厂现状(1)原料茧:春茧70%,解舒率71%;早秋茧30%,解舒率54%。(2)煮茧工艺:第一浸渍温度...  相似文献   
15.
余雷  章开泰 《丝绸》1996,(12):48-51
关于制丝厂适煮工艺条件确定方法的研究(摘登)HowtoSetTechnicalConditionsforModerateCocoonCOOKINGINfilatures(Cont.)¥YuLei;ZhangKaitai(续上期)二、煮茧工艺和缫丝成绩...  相似文献   
16.
在原氮气保压变温硫化工艺的基础上对半钢子午线轮胎的硫化工艺进行改进。结果表明,采用高温蒸汽排放时间分别为12,3和3 s,氮气排放时间为3 s的改进硫化工艺,蒸汽和氮气排凝时间大幅缩短,废气减排显著,轮胎各部位硫化程度符合要求,成品轮胎的高速性能和耐久性能均达到企业标准和国家标准要求。  相似文献   
17.
针对传统水果分级方式容易损伤水果表面且分级准确率低的问题,以苹果分级为例,提出了一种基于卷积神经网络的苹果分级算法,并分析比较多种卷积神经网络模型,分别用各网络模型训练一个卷积神经网络并对同一测试集图像样本进行分级试验,其中DFNet模型在苹果的一级果、二级果和三级果的分级上,表现出了97% 左右的分级准确率,达到了良好的分级效果.  相似文献   
18.
19.
20.
根据国家教育部精品视频公开课拍摄制作技术标准(2013年版),将拍摄精品视频公开课过程中前期准备策划工作、摄像机的机位设置和拍摄角度、视频后期制作等问题进行分析。  相似文献   
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