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| 用ZLS-23氦质谱检漏仪装成的多用途检漏系统 | |
| 引用本文： | 冉启钧,肖士璋.用ZLS-23氦质谱检漏仪装成的多用途检漏系统[J].真空电子技术,1985(4). |
| 作者姓名： | 冉启钧 肖士璋 |
| 作者单位： | 成都电讯工程学院情报资料室，成都电讯工程学院情报资料室 |
| 摘 要： | ZLS-23型氦检漏仪是成都仪器厂的新近产品,该产品具有灵敏度高、操作方便、不需用冷却系统(只用液氮)就能方便的进行检漏,根据该产品说明书所述,其灵敏度可达5×10~(-10)～1×10~(-12)乇升/秒,因此使用该检漏仪作电真空器件及其他零件的检漏是一台比较理想的仪器。由于成都仪器厂出品的ZLS-23型氦质 |
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