真空设备的检漏

检漏对每个真空工作者来说是比较熟悉的,从真空获得的发展历史来看,无数的真空工作者都在和漏气作顽强的斗争,因此出现了许许多多的检漏方法。40年代由于原子能工业的发展,要求回旋加速器系统的真空度达到高真空,真空系统的漏率要小于10~(-7)托·升/秒,因而出现了氦质谱检漏仪。经过40年来的努力,质谱检漏仪的发展已趋成熟、完善,并向小型化、数字显示和自动切换量程,直接给出漏率值的方向发展。现在的灵敏度已达到10~(-13)托·升/秒的高灵敏程度。对任何一种真空设备或容器(包括电真空器     

氦质检漏系统的改进

对氦质检漏系统的探测部分进行改进,可使其检漏灵敏度提高数十倍。数个检出漏率在1×10~(-15)atmccHe/s的超灵敏检漏系统已作为常规检漏装置,较好地应用于对红外或像传感器的杜瓦瓶的质量控制以及对测试样件在超高真空(UHV)工作性能的分析。而对氦质检漏系统的其它部分进行改进,就可以实现对元器件粗漏和微漏的一次性检测,大至0.25cc容积器件上0.015in直径的漏洞,小到1×10~(-12)atmccHe/s的漏率,因而可减少检测元器件密闭性能的费用。本文介绍了其设计原理、工作模式、标定方法及测试结果。     

有关检漏的两个问题

一、对氦质谱检漏仪灵敏度的要求和使用监视漏孔(标准漏孔)。从制管出发要求检漏达到这样一个水平:凡部件和整管有漏,要求检漏一定能检出来。凡经检漏的管子能存放几年而真空度不变。为了达到这个要求,一方面要求检漏仪有足够的灵敏度,另一方面仪器使用时要求处于对氦气灵敏的工作状态。     

石墨炉原子吸收法测定硅中铂族金属掺杂剂

本工作采用 P-E 5000型原子吸收光谱仪附 HGA-500型石墨炉,探索了铂族金属的测定方法.对Ru、Rh、Pd、Ir及Pt,测定灵敏度分别为5.8 × 10~(-11)、2.8×10~(-11)、2.6×10~(-11)、2.8×10~(-10)和1.8 × 10~(-10)克;在灵敏度附近,各元素的测定相对标准偏差不超过 9％. 本文所建立的方法灵敏、准确,能满足微量硅样品中的痕量铂族金属掺杂剂的分析.     

HZJ-1型氦质谱探漏仪灵敏度的提高

我们在66年改装了成都仪器厂生产的HZJ-1型氦质谱探漏仪,以提高灵敏度。改装的方法主要是从电子线路部分考虑。就是在它的放大器部分加进一级放大,以6 J 1作为6 J 8与6 J 4之间的第三级放大。同时也采用了负反馈措施。具体线路如图。由于加了一级放大,所以增加了放大量,而采用了负反馈,降低了仪器的信噪比。对改装前后的灵敏度进行校准比较。改装前仪器的饱和点为380～400分格,改装后为560～640分格。改装前仪器的灵敏度为5×10~(-9)乇·升/秒,而改装后为2.5×10~(-10)～5×10~(-11)乇·升/秒。就我所具有的三台探漏仪改装说明灵敏度都有显著的提高,经长期使用验证仪器性能和灵敏度稳定,基本上满足现阶段检漏灵敏度的     

用于红外探测器组件检测的超高灵敏度检漏仪

提出了一种采用累积法进行超高灵敏度氦质谱检漏的先进技术,基于该技术及相关材料特殊处理工艺设计并研制出了新型超高灵敏度检漏仪器,检测灵敏度优于8×10-15 atm.cc/s.He,是常规氦质谱检漏仪器灵敏度的1000倍以上,已成功应用于红外焦平面探测器组件等长寿命真空电子元器件产品的研制和生产工艺检测中,也是高能粒子加...     

氦一氖0.633微米氖饱和吸收稳频激光器

利用氖原子饱和吸收峰(以下简称吸收峰)作为鉴频器,采用双通道无差调节电子学伺服系统,将氦-氖0.633微米激光进行了稳频.激光频率的稳定性优于3×10~(-10),重复性优于1×10~(-8).比稳定在兰姆下陷的氦-氖0.633微米的激光频率稳定性     

基于虚拟仪器的氦质谱检漏仪监控系统设计

基于虚拟仪器技术,使用LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统。利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪部分动作的目标。该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。     

氦质谱检漏仪的进展及应用

随着科学技术的发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展和完善。一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此两者的关系是相互补充、相互促进的。     

压电谐振式微悬臂梁气体传感器

介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行。在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10~(-6)范围内的响应呈指数衰减,在100×10~(-6)范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4％×10~6,最小可测质量为3.5×10~(-9)g。     

真空检漏事业的发展和展望

氦质谱检漏仪发展于 2 0世纪 40年代 ,历经半个多世纪的应用和发展 ,取得了辉煌的成果 ,从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷 ,可以说是无处不在。真空检漏就其发展来说有两个方面 ,即一方面是检漏仪器本身 ,另一方面是检漏工艺技术的发展。我国的检漏仪器制造开始于 60年代初期 ,当时的中科院科仪厂等十几家单位走仿制的道路 ,有单聚焦和双聚焦 ,普通型和超高灵敏度型等各式检漏仪 ,60至 70年代是我国仪器发展的鼎盛时期 ,真空检漏的应用领域也不断扩展 ,对仪器的品种、质量、需求量都有了很大的增…     

高灵敏度电调可变SAW延迟线

我们采用了在衬底表面和与衬底表面垂直方向施加电场的方法,研究了三片高耦合切型LiNbO_3的可变延时特性。发现了旋转16.5°LiNbO_3切片具有与38X型材料相等的线性延时系数。但在实际应用中,其效应太小。本器件是由位于声通道上导电电极构成的SAW延迟线组成。当改变加于电极和衬底背面的不锈钢接地之间的电压时,其速度变化呈线性的。当衬底厚0.16mm时,观察到速度相对变化为9×10~(-7)/V,相当于灵敏度γ=1.36×10~(-10)m/V。这是至今我们所知的灵敏度最高的器件。与我们早期的38X切型LiNbO_3的灵敏度1.4×10~(-10)m/V相当,且线性度很好,通过二阶导数推得它对时间的曲线斜率为10~(-3)。平面型时间延迟器件灵敏度的简单模型与实验条件有关。我们对两种几何结构的色散进行了计算,结果表明:对许多应用来说,这种差别是微不足道的。     

在He-Cd激光器中加入碘提高3250埃激光输出功率

T. Arai等人(IEEE J. Quant. Electr. , QE-13,No. 6, 1977)在氦-镉激光器中加入少量碘,提高了4416埃激光输出功率30～40％。我们观察了碘对3250埃激光输出功率的影响。氦-镉激光器选用电泳式全内腔结构,放电毛细管长度65公分,内径2.2毫米,腔长90公分。在最佳放电条件下,当碘蒸气压在5×10~(-4)托附近输出功率增加到一个峰值,碘蒸气压升高到5×10~(-3)托附近输出功率开始下降,碘蒸气压到达1×10~(-2)托激光完全消失,这个变化     

MCT液相外延薄膜的生长和特性

用开管水平液相外延系统从富Te溶剂中生长了不同x值的MCT薄膜。经X射线衍射、Hall电学参数、红外光谱、扫描电镜、X射线能谱仪和电子通道花样分析测试,结果表明:外延薄膜表面平整,光学参数较好,纵向、横向组份均匀,晶体结构完整,电学参数较好,外延膜质量优良。短波材料(n型):载流子浓度3.54×10~(14)cm~(-3),迁移率1.63×10~4cm~2V~(-1)s~(-1);中波材料(n型):载流子浓度9.95×10~(14)cm~(-3),迁移率为1.76×10~4cm~2V~(-1)s~(-1);原生长波材料(n型):载流子浓度为2.15×10~(15)cm~(-3),迁移率2.00×10~4cm~2V~(-1)s~(-1)。     

加压充氮检漏的物理分析

用通过漏孔的气体分子的粘滞流动模型,分析了半导体器件加压充氮检漏的物理过程。理论分析的结果表明,利用此种方法能够检测的漏率范围较宽。以B型封装为例,在文中给定的条件下,漏率的检测范围可达5×10~(-3)～5×10~(-9)大气压厘米~3/秒。按着封装结构的具体情况,适当选择试验条件,检测范围可以加宽;并可根据需要检测漏率,确定试验条件。文中结出几种测试半导体器件漏气速率的方法。     

标准微小漏孔的校准系统

本文介绍一台用B-A型超高真空计作压强指示的标准微小漏孔的校准系统。利用超高真空四级油扩散泵系统,经烘烤420℃,保温1～2小时后,系统真空度可达(1～2)×10~(-9)托。系统采用低熔点合金的超高真空无油密封阀门,关闭阀门后,测试体积内本底漏率系1.2×10~(-12)托·升/秒或趋近于零。本系统可测定10~(-4)～10~(-11)托·升/秒(空气)或更小漏率的漏孔,通过误差分析:其漏率≥10~(-8)托·升/秒时最大误差≤17％;漏率≤10~(-9)托·升/秒时最大误差≤23％。采用超高真空系统及其B-A型真空计,不仅提高了系统测试的灵敏度,而且大大地缩短了测试微小漏孔(<10~(-8)托·升/秒)的时间。由于在B-A型真空计上配接了0～10 mV的自动记录仪,可精确地自动地绘出压强与时间的关系曲线(与理想直线一致),这样不仅可减少人为的测量误差,提高测量精度,而且大大减轻了测试人员的劳动。通过与国内外标准漏孔的初步对比测试结果表明:我们所设计的校准系统,对漏孔漏率的测定是准确的,同时也说明系统的稳定性、重复性较好。     

S波段介质稳频调制器

本文介绍了一种采用A_7介质谐振器制成的S波段介质稳频调制器的设计和实验结果。采用加载带阻滤波稳频获得了良好的稳频效果。在-40℃～+50℃温度范围内,输出功率为10毫瓦时,频率稳定度为±0.4×10~(-4)～±1.46×10~(-4),输出功率≥40毫瓦时,频率稳定度为±3×10~(-4)。调频范围大于600千赫,电调灵敏度为200千赫/伏,调频非线性<6％;体积仅有(60×60×30)立方毫米,可以同时传送遥控(遥测)和话音。     

截止频率达千兆赫的10.6微米CdHgTe光伏探测器

利用化学计量偏离法制备了x(～-)0.20的p-n结Cd_xHg_(1-x)Te器件,来研究10.6微米波长的光伏探测。这种光电二极管的灵敏面积为4×10~(-4)～10~(-3)厘米~2,观测到器件在77°K下当反向偏压为-0.1伏时,其并联电阻和电容分别为10~5欧和8微微法。研究了探测CO_2激光的性能,当本机振荡器功率为1毫瓦时,所得结果是:10~(10)相似文献   

数字电路控制的7安培高稳定度稳流电源

本稳流电源的输出电流为0—7安培。电流稳定度优于2.5×10~(-6)/3分钟(包括漂移、纹波及噪声)。电流调整电路由两块十位数模变换器及集成电路组成。电流的每步调整量可分别是1×10~(-6)、1.5×10~(-5)、4×10~(-3)、2.5×10~(-2)。本文介绍了电路的设计和测量结果。     

高频声表面波压控（调频）振荡器的研制

本文讨论了声表面波压控(调频)振荡器的原理及设计方法,并实际制作了振荡器,中心频率为657MHz,频偏约为1.5×10~(-3),平均压控灵敏度为98kHz/V,线性度±2%,温度稳定度为±3.7×10~(-5)(-20—+60℃)。