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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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大连某金矿石中Au、Pb为主要回收元素,金主要以包裹金、单体金的形式存在,分别占总金的4272%和4100%。为确定该矿石的可选性进行了选矿试验,结果表明,矿石在磨矿细度为-74 μm占65%的情况下,以丁基黄药+乙硫氮为捕收剂,采用1粗1精2扫、中矿顺序返回流程处理,最终可获得金品位为3592 g/t、回收率为9421%,铅品位为3258%、回收率9766%的金铅混合精矿。 相似文献