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1.
2.
3.
用多束相干光适当组合干涉曝光,得到的图形与基片在干涉场内的纵向位置z无关,与x、y位置呈周期关系,光的相干长度对应传统光学光刻的焦深。该方法适合大尺寸基片上纳米级孔、锥阵列图形的制作。模拟了双光束双曝光、三光束单曝光和四光束单曝光的干涉场光强分布,用波长为441.6nm的激光曝光得到尺寸为200nm的孔阵和点阵的图形。  相似文献   
4.
波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法   总被引:5,自引:2,他引:3  
激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长 的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方法。用自行建立的梯形棱镜波前分割系统进行了多光束干涉曝光实验,得到孔尺寸约220nm的阵列图形。  相似文献   
5.
振幅分割无掩模激光干涉光刻的实现方法   总被引:1,自引:1,他引:0  
无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割。研究和比较了振幅分割无 掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光束干涉系统、三光束干涉系统、液浸式深紫外干涉系统及全自动干涉光刻系统。建立了双光束双曝光干涉光刻实验系统。模拟和实验结果表明,对点阵或孔阵图形,在同样的图形尺度下,无掩模干涉光刻比传统光刻简单得多。  相似文献   
6.
当前的趋势是进一步提高清晰度和扩展光谱响应范围。电子成象经三十多年的不断发展和增长,在其技术基础上,有可能获得更大的发展。实用电子成象,如主动红外系统、电磁聚焦象增强器以及依靠夜空照明的被动夜视系统,经过三十年代的初期实验之后,在五十年代后期和六十年代初期开始投放市场。六十年代后期和  相似文献   
7.
超大规模集成电路(VLSI)技术的进展,已使十年以前认为不可能达到的高分辨率、高灵敏度和高速度固体图像传感器成为现实.  相似文献   
8.
候德胜  冯伯儒 《激光杂志》1987,8(5):306-308
本文叙述用银盐全息干板记录多重全息光栅和图像的方法、实验系统和装置,给出了实验结果,并与硫砷玻璃多重图像存贮作了比较。  相似文献   
9.
在半导体工业的发展过程中,包括研究、探测、修正、加工和标识半导体器件,光源已经起着关键的作用。在那个进程中,准分子激光加工算是最新的一步。 一定光谱范围的非相干光源,长久以来在光刻和检验中已经起了不可估价的作用。当可以得到相干光源时,由于其高的峰值强度、高的平均功率、可控的空间特性和频谱纯度等优点,使得它们成为商业应用的明显的候选光源。  相似文献   
10.
Campylobacter spp. cause numerous foodborne diseases. Poultry is thought to be a significant source of this zoonosis. Although many interventions designed to control this agent have been researched, none have succeeded. We evaluated a bacteriocin-based treatment to reduce Campylobacter jejuni colonization in poultry. A previously described purified bacteriocin (class IIa; molecular mass, 3,864 Da), secreted by Paenibacillus polymyxa NRRL-B-30509, was microencapsulated in polyvinylpyrrolidone, and 0.25 g of the purified bacteriocin was incorporated into 1 kg of chicken feed. One-day-old chickens were orally challenged and colonized with one of four isolates of C. jejuni, then reared in isolation facilities. Birds were provided ad libitum access to standard broiler starter feed and water for 7 days until 3 days before sampling, when only the treated groups of birds were provided the bacteriocin-emended feed described. In each of the eight (four by two replicates) trials, significant reductions in colonization by C. jejuni were observed (P < or = 0.05). As an example of this highly consistent data, in the first trial, 10 untreated 10-day-old chickens were colonized at a mean log 7.2 + 0.3 CFU/g of feces, whereas none of the 10 bacteriocin-treated 10-day-old chickens were colonized with detectable numbers of C. jejuni. Bacteriocin treatment dramatically reduced both intestinal levels and frequency of chicken colonization by C. jejuni. Feeding bacteriocins before poultry slaughter appears to provide control of C. jejuni to effectively reduce human exposure. This advance is directed toward on-farm control of pathogens, as opposed to the currently used chemical disinfection of contaminated carcasses.  相似文献   
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