半导体的准分子激光加工——准分子激光器为半导体加工提供了新的能力 |
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引用本文: | Robert J.Pressley
,冯伯儒.半导体的准分子激光加工——准分子激光器为半导体加工提供了新的能力[J].微细加工技术,1986(1). |
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作者姓名: | Robert J.Pressley 冯伯儒 |
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摘 要: | 在半导体工业的发展过程中,包括研究、探测、修正、加工和标识半导体器件,光源已经起着关键的作用。在那个进程中,准分子激光加工算是最新的一步。 一定光谱范围的非相干光源,长久以来在光刻和检验中已经起了不可估价的作用。当可以得到相干光源时,由于其高的峰值强度、高的平均功率、可控的空间特性和频谱纯度等优点,使得它们成为商业应用的明显的候选光源。
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