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1.
采用ArF准分子脉冲激光沉积方法(PLD),以六方氮化硼(h-BN)作靶在Si(100)衬底上制备氮化硼薄膜。XRD及FTIR透射谱测量表明生成的氮化硼薄膜是含有少量六方氮化硼结构的立方氮化硼(C-BN).AES测量表明不同条件下生成的薄膜中N与B的相对含量是不同的,最大比例近乎为1:1,薄膜的维氏显微硬度HV最大值为1580kg/mm2。  相似文献   
2.
针对低温校准装置中导热介质对校准结果的影响进行了研究,介绍了研制的低温传感器校准装置,分析了低温温度传感器的校准装置中传感器与恒温块之间空气间隙大小对校准结果的影响,以及向缝隙中填充不同导热介质对低温校准结果的影响,理论分析了产生误差的原因并通过实验给出了其校准不确定度。针对存在的问题给出了合理建议和解决方法,优化校准方案,给出了减小低温校准装置校准不确定度的方法。  相似文献   
3.
以调QYAG激光器的倍频输出(532.1nm)为泵浦源,进行氯苯液芯光纤的受激喇曼散射实验。得到了四阶斯托克斯线和一阶反斯托克斯线,还观察到了斯托克斯谱线非对称的超展宽现象。对实验结果进行了理论探讨。  相似文献   
4.
用ArF脉冲准分子激光在SOI和Pt/SOI衬底上沉积了Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜,并用快速退火进行热处理。x射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明:所结晶的薄膜是以(100)和(110)为主要取向的多晶膜,且结晶情况与热处理温度和时间密切相关;PZT薄膜呈现铁电性,其剩余极化Pr=15μc/cm ̄2,矫顽电场Ec=50kV/cm;并且具有较高的介电常数和较高的电阻率。  相似文献   
5.
用ArF脉冲准分子激光在SOI和Pt/SOI衬底上沉积了Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜,并用快速退火进行热处理.X射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明:所结晶的薄膜是以(100)和(110)为主要取向的多晶膜,且结晶情况与热处理温度和时间密切相关;PZT薄膜呈现良好的铁电性.  相似文献   
6.
脉冲准分子激光PZT薄膜的制备   总被引:5,自引:0,他引:5  
本实验采用脉冲准分子激光沉积(PLD)法,在193nm波长,5Hz频率,4J/cm2能量密度条件下,分别在Si(100)和SiO2/Si衬底上成功地沉积Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜,并在不同的条件下对PZT薄膜进行退火处理。用XRD,RBS,ASR等方法分别测量了薄膜的结构、组份和厚度。  相似文献   
7.
陈逸清  王磊  邱明新 《中国激光》1993,20(4):296-300
用调QYAG激光器的倍频光(λ=532.1nm)在充有四氯化碳和苯乙醇混合液液芯光纤中观察到受激喇曼散射(SRS)和四波混频(FWM)现象,对各条谱线的频率进行了标定,并给出了一些理论分析。  相似文献   
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