Ar~+激光再结晶多晶硅薄膜制备CMOS/SOI器件

在Ar~+激光再结晶多晶硅岛上制备出的CMOS/SOI器件,性能良好。N沟和P沟MOSFE7在沟道长度为4μm时,低场电子和空穴表面迁移串分别为510cm~2/V.s和142cm~2/V.s;CMOS六倒相器有好的静态和瞬态特性;CMOS九级环形振荡器P沟负载管和N沟输入管的W/L分别为112μm/6μm和52μm/6μm,其最小传输延时为2.8ns/级,最小延迟功耗乘积为2.6pJ/级。速度性能优于同尺寸的体硅CMOS器件。     

浦东新区IC代工业与设计业互动发展研究

在简要介绍浦东新区集成电路代工业与设计业发展现状的基础上,从上下游产业互动的角度分析了促进集成电路产业整体发展的产业互动模式与机制,并提出了促进集成电路产业发展的政策建议和具体措施.     

HF缓冲溶液处理Si（111）表面的化学稳定性椭偏谱研究

首次采用椭偏光谱仪检测ＨＦ缓冲溶液（ＢＨＦ）处理的Ｓｉ（１１１）表面在空气中的化学稳定性．研究表明：随着Ｓｉ暴露在空气中时间的增长，Ｓｉ的赝介电常数虚部ε２的Ｅ２临界点峰值随之下降，而Ｅ１临界点峰值却随之上升；在ｐＨ＝５．３的ＢＨＦ中腐蚀，再经去离子水漂洗后，可得到较稳定的Ｓｉ（１１１）表面，在空气中一小时之内基本不氧化．     

上海浦东集成电路代工业和设计业互动发展研究

信息产业的核心技术是集成电路技术,它是国际竞争力的重要体现.微电子产业是高科技发展中的重中之重,它的功能涵盖全社会.浦东新区IC产业互动指的是通过IC产业链上游设计业与下游制造业间的沟通、合作及一定程度上的资源共享,带动新区整个IC产业的快速成长,使浦东新区真正成为全球IC产业的重镇.     

提供最佳服务 拓展我国集成电路产业发展的未来

信息产业已成为国内第一大产业，而集成电路（IC）则是信息产业的心脏。由于集成电路不是一个终端产品，它在各行各业几乎都有所渗透，可谓“无处不在，无时不用”。集成电路产业对国民经济的推动作用也相当显著。据估算，1元的集成电路能带动10元的相关信息产业的产值和100元的GDP，倍增效应异常突出。因此，对于IC产业的重要性，怎么估计都不过分。同时，集成电路又是一个温带产业，国际知名的IC产业密集地区，如美国的硅谷、以色列的硅谷、日本九州的硅岛都地处北纬30度附近。