彩膜不良研磨成功率的分析与研究

彩膜基板伴随行业发展,正在向高PPI和窄边框方向发展,产品的成品率直接影响企业的价值回收。一般来讲,彩膜工艺伴随产生的缺陷,主要的修补手段就是研磨,研磨的成功率直接决定修补对于成品率的贡献程度。研究了与研磨成功率相关的因素,并且寻找到了有效的方法,达到最优化的结果,并且展望未来的新技术。     

TFT-LCD彩膜工艺宏观缺陷自动化修补的探究

目前CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG。每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉。而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高。提出一种可自动修复NG竖线的Mura设备的设想。衡量竖线Mura是否符合标准的Spec参数为膜厚,当基板上的Panel出现膜厚值超过Spec值的竖线Mura,就需要将此Panel判为NG,后续报废掉。新设想的Mura检测机可通过新设计的"探针单元"确定竖线区域膜厚的高低,再利用"竖线处理单元"对竖线进行处理,并根据"图像对比单元"的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG。这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的自动化修补。     

TFT-LCD彩膜品质运营模式的半自动化探究

目前,TFT-LCD行业中彩膜工厂品质运营模式主要依靠AOI和Repair设备进行微观缺陷的检出和修补,依靠Mura和Macro设备进行宏观缺陷的检出及判定。一个成熟的彩膜工厂中,宏观缺陷的NG比率约为0.012%,最终宏观检测一张基板的时间约为110秒,因此目前采用的宏观终检工序存在大量的时间和人力的可优化空间,如果能够通过技术手段优化以及运营模式创新,实现最终宏观检测抽检化,就能节约出一定的人力物力,达到精益生产的效果。作者提出一种新的高效的彩膜宏观品质运营模式,首先通过新算法的检讨使得Mura设备能够对"问题基板"进行初步的警报判定→"A"判定,然后通过更改最终宏观检测线CIM以及TRF的运营程序,使得仅有判"A"基板进入Macro设备进行"复查",这种设计在不影响宏观品质检出的同时,既减少了设备的使用频率,延长了设备的寿命,又节约了大量的终检检片时间和人力成本。     

TFT-LCD行业彩膜工艺新型在线检测机的探究

目前,TFT行业8.5代线工厂中,CF基板微观缺陷的在线检出主要依靠AOI设备。AOI设备的原理:通过数量巨大的Line CCD对基板进行拍照,然后AOI PC通过生成的灰度图像依据5点法对基板各点的灰阶值进行对比,检出微观缺陷,并对缺陷进行判级。目前的AOI设备由于五点比对法的限制只能检测基板的微观缺陷,宏观缺陷的在线检出主要依靠Mura设备,Mura设备主要依靠CCD生成精度较低灰度图像由OP人眼进行检测,这种宏观检测方法自动化低,依靠人眼,准确率的稳定性也很难保证。文章提出一种同时具有宏观缺陷检出能力的AOI设备,核心是以AOI五点比对法为基础,对其进行算法上的优化和添加,并在硬件上添加数据处理PC,使得AOI同时具有准确检出宏观缺陷的能力,在刨除Mura设备的情况下,使得宏观检测结果自动化程度高,结果准确,并且不影响Tact Time。     

彩膜Mura检测机彩色图像的应用探究

目前TFT-LCD行业彩膜产线中,宏观缺陷的在线监控与检测设备为Mura检测机.Mura检测机的原理是通过数台Line Camera和反射照明单元,读取Glass的图像并将其处理转换为灰度图像,后续由操作员对灰度图像进行观察判断,达成对Glass的宏观品质进行在线监控的目的.目前的Mura设备只能生成灰度图像,而人眼对黑白图像的辨识能力远远不如彩色图像,所以导致当相应缺陷出现在Glass边缘或操作员长时间工作后,容易出现漏检的情况,为了改善此问题,本文提出在将彩色图像应用到Mura检测机中,通过将灰度图像转化为一种"伪彩色"图像的方式,既提高了图像中缺陷的辨识程度,降低了漏检的概率,也不会因为生成彩色图像而增加图片处理时间,影响工厂的Tact Time.     

关于Sputtering工艺在液晶TFT生产中的应用

在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助。     

谈彩膜工艺划伤鉴定的新设备与方法

TFT-LCD行业中,彩膜工艺玻璃基板在各线传输过程中,由于各种原因,很容易出现划伤的情况,划伤分为膜面划伤(基板表面的光刻胶被划伤)和基板划伤(基板本身被划伤)两种:膜面划伤按照严重程度进行Rework判定,基板不报废;而Glass本身被划伤,很容易在后续跑片中发生碎片,污染重要设备,因此划伤Glass需立刻报废处理.目前的分辨膜面划伤和基板划伤的主要方法为:工程师在宏观检测机(Macro)内通过强光照射,人眼进行观察.这种方法只能分辨程度很重和程度很轻的划伤,并且准确率不高,很容易由于判断错误导致基板在后续跑片时破损在重要设备(涂布机、曝光机等)处,引起产线严重Down机.本文作者提出一种能够准确鉴别膜面划伤和基板划伤的设备及方法,通过探针在恒定压力作用下伸入光刻膜和Glass表面的速度的不同,准确区分出探针接触的为光刻膜还是Glass表面,以此确定划伤是否伤及Glass.这种方法自动化高,准确度高,能够准确区分出基板划伤,避免后续影响产线正常运行.     

液晶TFT-彩色滤光片工艺的生产制造与探究

液晶TFT屏幕的市场范围越来越广泛,尤其是近年来LED技术的迅速发展,文章通过对液晶TFT屏幕中彩色滤光片的分析,以下简称彩膜,对彩膜的生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助。