彩膜不良研磨成功率的分析与研究

彩膜基板伴随行业发展,正在向高PPI和窄边框方向发展,产品的成品率直接影响企业的价值回收。一般来讲,彩膜工艺伴随产生的缺陷,主要的修补手段就是研磨,研磨的成功率直接决定修补对于成品率的贡献程度。研究了与研磨成功率相关的因素,并且寻找到了有效的方法,达到最优化的结果,并且展望未来的新技术。