深小方腔冷挤加工工艺和模具设计

介绍了深孔小方腔的冷挤压加工工艺和模具设计 ,与传统的线切割和拼焊加工工艺相比 ,它不但改善和提高了工件的加工精度和表面粗糙度 ,而且大大提高了工效 ,较好地满足了设计要求 ,是一种较好的加工方法     

90nm工艺下nMOS器件最大衬底电流应力特性

研究了90nm工艺条件下的轻掺杂漏(lightly-doped drain,LDD)nMOSFET器件最大衬底电流应力特性.在比较分析了连续不同电应力后LDD nMOSFET的GIDL(gate-induced drain leakage)电流变化后,发现当器件的栅氧厚度接近1nm,沟长接近100nm时,最大衬底电流应力不是电子注入应力,也不是电子和空穴的共同注入应力,而是一种空穴注入应力,并采用空穴应力注入实验、负最大衬底电流应力实验验证了这一结论.     

90nm工艺下nMOS器件最大衬底电流应力特性

研究了90nm工艺条件下的轻掺杂漏(lightly-doped drain,LDD)nMOSFET器件最大衬底电流应力特性.在比较分析了连续不同电应力后LDD nMOSFET的GIDL(gate-induced drain leakage)电流变化后,发现当器件的栅氧厚度接近1nm,沟长接近100nm时,最大衬底电流应力不是电子注入应力,也不是电子和空穴的共同注入应力,而是一种空穴注入应力,并采用空穴应力注入实验、负最大衬底电流应力实验验证了这一结论.     

管帽成形模设计

介绍了管帽成形模的结构及主要零部件设计。通过采用增加零件工艺凹腔 ,将凸、凹模做成镶拼式 ,顶件器做成分体式等多种方法 ,提高了成形零件的质量 ,解决了原模具使用寿命短等问题