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在玻璃衬底上采用RF溅射法制备非晶SiGe薄膜的基础上,采用金属Ni诱导法对所制备的薄膜进行晶化烧结,并以Pt催化氢氧化放热反应和SiGe薄膜的热电势效应为原理制备出了小型热电势氢传感器。测试表明:以500℃烧结所得SiGe薄膜材料为敏感基体,在100℃工作温度下所制备的传感器对3%H2灵敏度为0.7mV,检测的浓度范围大约为0.02%-5%,且输出电压随着烧结温度的升高而升高。 相似文献
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WO3材料对H2S气体的敏感特性 总被引:9,自引:0,他引:9
采用钨酸钠盐酸热分解法制备的WO3微粉对H2S气体具有良好的气敏性能。对0-100ppmH2S灵敏度与H2S呈现良好的线性,并具有快速响应和恢复的特点。 相似文献
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系列常温气敏元件的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文简述了常温气敏陶瓷材料及高分子材料的制备方法、常温电阻型及振荡型元件的制造工艺及其气敏特性,最后探讨了元件的工作机理及今后的改进方法。 相似文献
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采用一般工艺制作的湿敏元件在高湿环境中工作时,感湿膜易变形起皱,与基片脱附,大大限制了该类元件的应用范围。为此,我们改进了元件的制作工艺,通过增涂衬底膜和保护膜,基本上解决了上述问题,并且优化了元件的某些性能,延长了元件的寿命。 相似文献
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一种季胺盐型高分子材料的合成和表征
及其湿敏特性的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在化工业、建筑业、造纸业、皮革业等许多领域,丙烯酸树脂是一个重要的角色~([1]),近来,我们发现用它可以作为高分子湿敏材料,它成膜性极好,对湿度有较敏感的响应,但其耐水性较差,我们通过改进湿敏元件的制作工艺,在载片上增涂一层保护膜,有效地克服了它在应用中的这一缺点. 相似文献