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学科分类

工业技术

1篇

出版年

1998年

1篇

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金刚石薄膜制备和评价 总被引：2，自引：0，他引：2

邱万奇刘正义陈剑惠刘志唐周克崧代明江王德政丁谦《理化检验(物理分册)》1998,34(6):14-16,36

采用平直钨丝作热解源,并借助钨丝支架的弹性恢复力,较好地解决了热丝热解化学气相沉积法(HFCVD)合成金刚石过程中热解丝的变形问题.样品独立加热,基片温度、钨丝温度、钨丝与样品基片距离均可独立调节.装置改进后,在Si(100)上合成了面积大约45mm×25mm的比较均匀的金刚石膜.用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱和X射线衍射仪对制备的金刚石膜进行了分析. 相似文献