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1.
本文报导了七通道线列实时波前校正的实验室试验。介绍了所用的实验装置和得到的实验结果。定性地分析了系统中误差产生的原因。实验结果表明,系统对300Hz 扰动有17~20db 的改善,对100Hz 扰动有35~40db 的改善。对于低频扰动,当系统实现闭环控制后,像面上线扩散函数已接近衍射极限。  相似文献   
2.
在弹道相机和经纬仪中,光学读数系统己得到广泛地应用。本文给出了读数光学系统的设计方法及其设计结果。  相似文献   
3.
声光调制器由声光晶体和换能器组成 ,它们各有其特性参数。多级衍射光所引起的互调光、衍射光的压缩和交叉调制现象直接影响多色光的合成。时序法可实现三原色光的合成。  相似文献   
4.
超微细光刻中偏振光成像研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力。  相似文献   
5.
在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响。主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响。发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明可以通过控制照明光的偏振态来改善光学系统的分辨率。  相似文献   
6.
一、概况 1987年1月11日——16日在美国洛杉矶召开的“光电子学和激光在科学工程的应用”(OPTOELECTRONICS AND LASER APPLICATIONS IN SCIENCE AND ENGINEERING)和“电光成像系统和器件”(ELECTRO OPTIC IMAGING SYSTEMS & DEVICES)会议是由国际光学工程学会(SPIE—The International Society for Optical Engineering)主办的。协同者还有:亨茨维尔亚拉巴马大学应用光学中心、南加州大学激光研究中心、戴顿大学电子光学中心、罗彻斯特大学光学院、亚利桑那大学光学中心和美国激光协会。  相似文献   
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