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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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在对甲苯磺酸存在下 ,由马来酸酐和异戊醇合成了马来酸二异戊酯。当马来酸酐、异戊醇和对甲苯磺酸物质量的比为 1∶3∶0 2 ,回流分水 60min ,酯收率达 97 7%。 相似文献
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轻质离强纸面石膏板的生产质量控制 总被引:2,自引:0,他引:2
分析影响纸面石膏板强度的因素,列举了优选原材料与控制生产工艺是提高纸面石膏板产品质量的关键措施。并重点介绍轻质高强石膏板生产的材料选择、工艺凋整和质量控制。 相似文献