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61.
MEMS THz滤波器的制作工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。 相似文献
62.
吴渝李藻旭李红波温磊 《计算机辅助设计与图形学学报》2015,(8):1460-1467
由于传统的力导引布局方法大都无法展示复杂网络的社团结构,提出一种可有效展示复杂网络社团结构的布局算法——社团引力导引的布局算法.该算法在力导引布局算法的基础上对每个节点加入社团引力,并引入k-means算法,使同一社团的节点能够向社团的中心位置聚拢.不同于先网络聚类再可视化布局的传统做法,该算法不需要预先对节点分类,可以在布局的同时完成节点聚类.实验中使用模块度指标评估社团结构的强弱程度,结果表明,文中算法可以呈现明显的聚类效果,简单、易于实现,且收敛速度快. 相似文献
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66.
质量认证是对产品和质量体系实施标准的确认和证明,标准化下就是为在一定的范围内获得最佳秩序,对实际的或潜在的问题制定共同的和重复使用的规则的活动。本文从四个方面对质量认证和标准化的关系加以论述,阐述了质量认证与标准化工作相互促进、依存和提高的关系。 相似文献
67.
68.
69.
介绍了在选矿厂设计中,选矿设备(包括浮选机)选择最基本的条件是选矿数质量流程和矿浆流程的平衡计算。而在浮选机的选择计算中比较关键的是浮选时间的确定,这是因为浮选时间的长短对浮选指标的好坏影响较大。并通过案例力求说明在选矿设备的选择方面应遵循与选矿厂建设规模相适应的先进、高效、能耗低,使选矿厂具有较高的机械化水平的设计原则,而不能盲目地大型化。 相似文献
70.
综述了水热(溶剂热)法制备纳米材料的特点以及用此法制备ZnS纳米球、纳米线、纳米棒的研究进展,分析了纳米材料制备中表面活性剂对其形貌的重要作用,指出了水热(溶剂热)法制备纳米材料存在的问题和发展前景。 相似文献