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Al薄膜对硅的高刻蚀选择比使其成为硅深刻蚀过程中重要的掩蔽层材料。本文采用剥离法对Al薄膜进行图形化,得到了一组能够快速对Al薄膜图形化的工艺参数。 相似文献
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本文介绍了运用"精讲多练"教学模式为非计算机专业学生讲授《数据库原理及应用(Access)》课程的具体实施方法和过程。实践证明,运用"精讲多练"的方法,能更加有效地帮助学生掌握数据库的原理、设计和应用。 相似文献
14.
目的 为了准确预测工件亚表面损伤,合理确定材料去除量,优化固结磨料研磨单晶蓝宝石的工艺参数。方法 针对固结磨料研磨特点和单晶蓝宝石特性,采用离散元模拟技术,建立单晶蓝宝石材料的离散元模型,仿真固结磨料对材料研磨的动态过程,分析载荷作用下材料单元颗粒间裂纹的产生和扩展规律,研究磨粒切入深度对亚表面损伤的影响,预测固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面裂纹的数量和深度,并借助化学腐蚀法验证预测结果。结果 采用粒度分别为W14、W28、W50、W65的金刚石固结磨料垫,其对应的研磨单晶蓝宝石亚表面损伤层深度预测值分别为3.75、5.28、7.62、10.92 μm,预测的裂纹数量分别为199、236、526、981条,对应的实验实测值分别为3.79、5.88、8.76、11.44 μm。固结磨料垫中的磨料粒径越大,单晶蓝宝石亚表面损伤层的深度越大,裂纹数量越密集。对比发现腐蚀实验的实测值和理论预测值基本一致,验证了预测结果模型的正确性。结论 采用离散元法可以快速有效地预测固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面损伤层的裂纹数量和深度,为研磨工艺参数的优化和后续抛光工艺参数的制定提供指导。 相似文献
15.
采用区域熔融法净化工业黄磷制备高纯磷.考察了熔区移动速度、区熔次数、熔区长度以及黄磷原料杂质初始含量对提纯效果的影响.研究结果表明,采用区熔法对工业黄磷进行提纯是完全可行的,且当原料砷含量为14301 ng/g时,在移动速度为10 mm/h,熔区长度为0.1L,经过5次区熔后,除As外,Fe、Ca、Co、Mg、Cr、Cd、Mn、Ni、Cu、Pb、Zn、Al等12种杂质均达到6N(99.9999%)级水平,当经过区熔30次后,总杂质含量脱除到100 ng/g左右,完全能够满足半导体以及医药行业对高纯磷的要求. 相似文献
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温控防裂与横缝工作性态调控是混凝土拱坝施工期面临的两大难题,而冷却通水策略是控制拱坝混凝土安全、横缝开合的关键因素。为此,本文提出了混凝土拱坝温度应力与横缝性态智能控制方法,并综合应用智能化控制理念、仿真分析工具、自动控制技术构建了混凝土拱坝温度应力与横缝性态智能控制系统。分析表明,该系统有效调控了坝体应力与横缝工作性态、充分发挥了混凝土材料性能、大幅提升了温控施工效率,实现了拱坝温控防裂与横缝性态调控的多目标智能优化。 相似文献
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随着世界经济的发展,能源、环保、新材料等问题日益凸现,面对当前形势,我国将坚持节约资源和保护环境定位基本国策,提出了建设资源节约型和环境友好型社会的理念。在这一进程中,标准化起着提纲挈领的作用。当前,“绿色壁垒”、环保标准等标准被越来越多地用于国际贸易,甚至成为发达国家借以限制发展中国家产品的依据。为了适应我国资源和环境的要求,也为了满足国际贸易对环保、节能的要求,需要以标准化为动力,时不我待地推动资源节约型社会的建立。 相似文献
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焊接对管头与管板间的胀接连接的影响的讨论 总被引:1,自引:0,他引:1
为换热器制造开发高质量的换热管与管板的连接技术,利用ANSYS有限元分析软件模拟分析换热管与管板间的连接形式。采用胀焊结合的连接形式时,焊接产生的热应力和胀接产生的残余接触应力之间互有影响。胀接分析过程中根据材料的力学、物理性能,引入材料的几何非线性和接触非线性理论分析[1],采用多线性随动强化准则,计算胀管压力卸除后换热管与管板之间的残余接触应力,得出最高效、最合适的胀接压力。焊接分析过程中利用ANSYS软件进行模拟计算,采用单元生成技术,得出强度焊产生的热应力的影响范围。本方法为换热管与管板接头的结构设计和工艺参数优选提供了理论依据。 相似文献