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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 156 毫秒
1.
卢凉  杜平安  黄志奇 《微电子学》2003,33(6):477-479,484
微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础。文章介绍了MEMSCAD的概况和技术特点,提出了一种MEMSCAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次,重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键问题。  相似文献   

2.
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.  相似文献   

3.
微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统.介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望.  相似文献   

4.
国内微型器件装配技术的现状与应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
微机电系统(MEMS)以飞快的速度发展成为一个集微型机械、微传感器、微能源、微致动器、微控制器、微执行器、信号处理和智能控制于一体的新兴研究领域。微机电系统结构的复杂性促进了微装配技术的蓬勃发展,吸引了大批国内外研究人员对其进行广泛研究。本文首先分析了微器件装配技术对微机电系统的重要性及其产生的深远影响,然后介绍了近年来国内微装配技术的发展现状和参与微装配项目研发的研究单位的一些有应用价值的研究成果,最后阐述了微装配系统的发展趋势。  相似文献   

5.
硅基微机械加工技术   总被引:2,自引:1,他引:1  
阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵,概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点,运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。  相似文献   

6.
微机电系统将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械融为一体的系统。目前,MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域,而它与不同的技术结合,往往便会产生一种新制的MEMS器件。根据目前的研究情况,除了进行信号处理的集成电路部件以外,微机电系统内部包含的单元主要有以下几大类:  相似文献   

7.
TN4 02040672微机电系统的研究内容与发展现状/李国平,陈子辰(浙江大学) 微电子学。-2001,31(6)。-389-391概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状。图1参10(午)TN4 02040673微电子机械技术的发展与现状/杨宏,王鹤(西安交通大学) 微电子学。-2001,31(6).-392-394文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统,以期揭示未来的发展方向。 (午)  相似文献   

8.
微光机电系统及其应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。  相似文献   

9.
冯慧 《混合微电子技术》2010,21(2):106-110,101
针对国际微机电系统(MEMS)发展趋势和未来的产业化前景,结合我国社会经济发展的需要,本文介绍了MEMS国内外发展状况,并对MEMS市场及应用进行了分析与探讨,以期为开展MEMS的研究与开发提供参考。  相似文献   

10.
微机电系统的研究与展望   总被引:9,自引:0,他引:9  
微机电系统是面向2l世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行了全面分析。在此基础上,论述了MEMS未来发展的趋势。  相似文献   

11.
介绍了机场泊位引导系统的发展现状,对当前国外研发生产的几款设备以及科研专利中的实现方法进行了系统比较,并对其发展趋势进行了展望。概述了基于三维激光扫描技术泊位引导系统的结构组成和工作原理。在总结对比泊位系统中激光扫描单元与成品三维激光扫描仪多种差别的基础上,论述了脉冲激光测距和双振镜扫描在泊位系统应用中的设计要求,针对容易产生误差的环节,提出了相应的校正方法,同时介绍了点云数据处理流程和算法设计要点。  相似文献   

12.
本文首先论述了无线公话在现代通讯中的作用和意义,对无线公话的结构分类作了介绍;较详细地阐述了分体式CDMA无线公话的功能及设计。对部分电路作了分析,并给出了系统框图和部分原理图;对相关的软件操作作了相应地说明。  相似文献   

13.
高阶模糊函数的收敛性分析   总被引:32,自引:3,他引:29       下载免费PDF全文
李眈  龙腾 《电子学报》2000,28(6):60-63
本文讨论用于多项式相位信号参数估计的高阶模糊函数的收敛性质.对于复高斯白噪声污染的时变振幅多项式相位信号,证明了其高阶模糊函数样本估计和相位多项式最高阶系数估计的强收敛性质.特别地,对于常数振幅情形,得到了多项式系数估计的强收敛速度.模拟实验证实了所得到的理论结果.  相似文献   

14.
混凝土结构中钢筋腐蚀监测的光纤传感技术   总被引:7,自引:0,他引:7  
综述了混凝土结构内部钢筋腐蚀监测的光纤传感技术最新进展,分析了钢筋腐蚀产生的原因及现象,介绍了几种光纤腐蚀传感的原理及特点,指出了今后的发展趋势。  相似文献   

15.
多尺度边缘检测中的有效尺度研究   总被引:11,自引:0,他引:11  
在边缘检测中,检测不同类型的边缘需要的滤波尺度各不相同.本文详细讨论了以紧支、对称平滑函数构造的滤波函数在检测不同类型边缘时的有效尺度,同时分析了高斯平滑函数及三次B样条平滑函数在抑制噪声时的有效尺度范围.该文的结论为多尺度边缘检测中滤波尺度的调整提供了重要的理论依据.  相似文献   

16.
本文简要叙述了科学技术转化为现实生产力的三个环节,即科研成果、科研成果的生产化和推广。重点总结了后两个环节在我国改革以来的进展及成功的经验,并提出存在的问题及今后工作建议。  相似文献   

17.
本文介绍了美国密歇根州立大学ECE和CSE的九门课程的成绩评定方法,探讨了美国大学课程评定方法的理论依据和基本特点,分析了我国高校现行课程考核方式的不足以及美国大学课程评定方法对我们的启示。在此基础上,笔者提出了对考核方式改革的一些建议。  相似文献   

18.
增强现实中虚实光照一致性研究综述   总被引:1,自引:0,他引:1  
总结了近年来增强现实领域虚实光照融合技术的发展情况,对主要的分类进行了阐述,对于光照估计技术、基于设备采集的虚实光照一致性研究、基于场景理解的虚实光照一致性研究进行了介绍,并对国内外研究现状列举说明。此外,分析了增强现实中虚实光照一致性研究的一些技术难点,总结了现有的解决办法,对于虚实光照一致性研究的未来发展趋势,也进行了相应的展望。  相似文献   

19.
以腹膜接种人胃癌细胞SGC-7901的裸鼠为胃癌腹膜播散的动物模型,进行模拟外科手术,在体探测不同种植期的裸鼠腹膜癌结节及正常腹膜组织的激光拉曼光谱,对比光谱差异,采用支持向量机(SVM)算法对光谱进行分类和分期判决。结果表明,癌结节和正常组织拉曼光谱差异显著,用支持向量机算法进行分类的灵敏度、特异度和诊断准确度分别为95.73%、70.73%和90.73%;不同生长期的癌结节组织拉曼光谱也存在明显差异,用支持向量机算法进行分期的结果分别为98.82%、98.73%和98.78%。从分类结果可以看出,此方法对指导外科手术中癌变组织的识别有重要的意义。  相似文献   

20.
数字音频水印技术研究综述   总被引:2,自引:0,他引:2  
吴迪  朱冰莲 《电声技术》2009,33(2):55-58
介绍了数字音频水印技术的发展背景及其系统框架,分别对时域、变换域及压缩域的音频水印算法进行了阐述和比较,并介绍了对数字音频水印的攻击和对策。最后,归纳了数字音频水印技术研究尚存在的问题以及今后的研究方向。  相似文献   

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