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微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化. 相似文献
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微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统.介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望. 相似文献
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《电子工业专用设备》2006,35(1):23-24
微机电系统将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械融为一体的系统。目前,MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领域,而它与不同的技术结合,往往便会产生一种新制的MEMS器件。根据目前的研究情况,除了进行信号处理的集成电路部件以外,微机电系统内部包含的单元主要有以下几大类: 相似文献
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《中国无线电电子学文摘》2002,(4)
TN4 02040672微机电系统的研究内容与发展现状/李国平,陈子辰(浙江大学) 微电子学。-2001,31(6)。-389-391概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状。图1参10(午)TN4 02040673微电子机械技术的发展与现状/杨宏,王鹤(西安交通大学) 微电子学。-2001,31(6).-392-394文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统,以期揭示未来的发展方向。 (午) 相似文献
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针对国际微机电系统(MEMS)发展趋势和未来的产业化前景,结合我国社会经济发展的需要,本文介绍了MEMS国内外发展状况,并对MEMS市场及应用进行了分析与探讨,以期为开展MEMS的研究与开发提供参考。 相似文献
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本文首先论述了无线公话在现代通讯中的作用和意义,对无线公话的结构分类作了介绍;较详细地阐述了分体式CDMA无线公话的功能及设计。对部分电路作了分析,并给出了系统框图和部分原理图;对相关的软件操作作了相应地说明。 相似文献
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混凝土结构中钢筋腐蚀监测的光纤传感技术 总被引:7,自引:0,他引:7
综述了混凝土结构内部钢筋腐蚀监测的光纤传感技术最新进展,分析了钢筋腐蚀产生的原因及现象,介绍了几种光纤腐蚀传感的原理及特点,指出了今后的发展趋势。 相似文献
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本文简要叙述了科学技术转化为现实生产力的三个环节,即科研成果、科研成果的生产化和推广。重点总结了后两个环节在我国改革以来的进展及成功的经验,并提出存在的问题及今后工作建议。 相似文献
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江捷 《电气电子教学学报》2011,(6):21-22,30
本文介绍了美国密歇根州立大学ECE和CSE的九门课程的成绩评定方法,探讨了美国大学课程评定方法的理论依据和基本特点,分析了我国高校现行课程考核方式的不足以及美国大学课程评定方法对我们的启示。在此基础上,笔者提出了对考核方式改革的一些建议。 相似文献
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增强现实中虚实光照一致性研究综述 总被引:1,自引:0,他引:1
总结了近年来增强现实领域虚实光照融合技术的发展情况,对主要的分类进行了阐述,对于光照估计技术、基于设备采集的虚实光照一致性研究、基于场景理解的虚实光照一致性研究进行了介绍,并对国内外研究现状列举说明。此外,分析了增强现实中虚实光照一致性研究的一些技术难点,总结了现有的解决办法,对于虚实光照一致性研究的未来发展趋势,也进行了相应的展望。 相似文献
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以腹膜接种人胃癌细胞SGC-7901的裸鼠为胃癌腹膜播散的动物模型,进行模拟外科手术,在体探测不同种植期的裸鼠腹膜癌结节及正常腹膜组织的激光拉曼光谱,对比光谱差异,采用支持向量机(SVM)算法对光谱进行分类和分期判决。结果表明,癌结节和正常组织拉曼光谱差异显著,用支持向量机算法进行分类的灵敏度、特异度和诊断准确度分别为95.73%、70.73%和90.73%;不同生长期的癌结节组织拉曼光谱也存在明显差异,用支持向量机算法进行分期的结果分别为98.82%、98.73%和98.78%。从分类结果可以看出,此方法对指导外科手术中癌变组织的识别有重要的意义。 相似文献
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数字音频水印技术研究综述 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了数字音频水印技术的发展背景及其系统框架,分别对时域、变换域及压缩域的音频水印算法进行了阐述和比较,并介绍了对数字音频水印的攻击和对策。最后,归纳了数字音频水印技术研究尚存在的问题以及今后的研究方向。 相似文献