| 硅基微机械加工技术 |
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| 引用本文： | 袁明权.硅基微机械加工技术[J].半导体技术,2001,26(8):6-10. |
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| 作者姓名： | 袁明权 |
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| 作者单位： | 中物院电子工程研究所先进传感器与执行器研究中心 |
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| 摘 要： | 阐明了微机电系统（MEMS）的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
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| 关 键 词： | 硅基 微机电系统 微机械加工技术 陀螺仪 |
| 文章编号： | 1003-353X(2001)08-0006-05 |
Micro-machining based on silicon |
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| YUAN Ming-quan.Micro-machining based on silicon[J].Semiconductor Technology,2001,26(8):6-10. |
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| Authors: | YUAN Ming-quan |
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| Abstract: | The connotation of micro electro mechanical systems (MEMS) is clarified. And the characteristics of bulk micro-machining, surface micro-machining and hybrid micro-machining are summarized. By living examples, this paper discusses the basic fabrication process. |
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| Keywords: | MEMS micro-machining gyroscope |
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