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| 浅谈微机电系统技术现状及应用趋势 | |
| 引用本文： | 冯慧.浅谈微机电系统技术现状及应用趋势[J].混合微电子技术,2010,21(2):106-110,101. |
| 作者姓名： | 冯慧 |
| 作者单位： | 华东微电子技术研究所,合肥230022 |
| 摘 要： | 针对国际微机电系统（MEMS）发展趋势和未来的产业化前景，结合我国社会经济发展的需要，本文介绍了MEMS国内外发展状况，并对MEMS市场及应用进行了分析与探讨，以期为开展MEMS的研究与开发提供参考。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 市场 应用 |
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