MEMS麦克风带来超清晰录音功能

微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。     

MEMS制程的创新——电化学电镀工艺的EFAB

微机电系统(MEMS)是微电子技术的拓展和延伸．它把微电子和精密机械互相隔合，实现更广义的片上系统(SOC)。MEMS集成了微型传感器、微型执行器、信号处理器、接口电路、通信电路和电源电路在同一块衬底上，构成一个功能完整的SOC。MEMS将现实世界的微弱信号（如电、磁、光、热、运动等）转化成系统可处理的电信号，由信号处理器进行运算和发出指令，再由执行器完成所需的操作。换句话说，MEMS由于能够实现信息获取、处理和执行并集成在一起，真正实现了机电一体系统化。而被认为是微电子技术的又一次革命。     

亚洲加速MEMS研发和微系统组装

亚洲是全球微电子产品增长较快的地区。MEMs是业内人士公认的21世纪的新的技术增长点,而封装技术在微电子与MEMS制造中发挥着越来越重要的作用。本文论述了亚洲,尤其是中国和中国台湾在MEMS研究与微系统组装技术领域的发展现状与趋势。     

微机电系统关键技术及其研究进展

微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.     

MEMS/MOEMS在光通信中的应用

微机电系统（MEMS）在光学领域中的应用是其最重要的应用之一，其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能，还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求。本文以MEMS光开关等为例，讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势。     

一维MEMS技术及其在全光网络中的应用

过去几年中．微机电系统（MEMS)一直被认为是光传输系统申的关键技术，本主要介绍基于一维MEMS技术的波长选择性交换结构及其交换原理、分析其可靠性并讨论在全光网中的应用。     

MEMS技术对缩小手机体积的贡献

MEMS（Micro Electrome-chanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器，执行器以及信号处理和控制电路、接口电路，通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术，机械技术，材料科学，能源科学等。[编者按]     

微机电系统（MEMS）封装技术及产品

南通富士通微电子股份有限公司的微机电系统（MEMS）封装技术及产品荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。     

微机电系统计算机辅助设计的研究

微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础。文章介绍了MEMSCAD的概况和技术特点，提出了一种MEMSCAD的典型体系结构和MEMS建摸与模拟的层次，重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键问题。     

移动互联网络时代MEMS技术的创新发展

微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势,同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战。从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发,结合国内MEMS技术发展的现状,提出我国MEMS技术发展的建议。     

美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向

本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。     

加速度计与MEMS明日之星

微机电系统（MEMS）在发展了近四十年后，近来因为游戏机（Wii、PS3）、手机（iPhone）、MP3（iPod touch）等消费性电子产品的应用，终于划下时代性的一刻，成功打入产量最大的消费性市场。这对于微机电产业来说无疑是值得庆贺的时刻，因为有太多的研发心力已投入这项将微机械与微电子工程融合的微机电设计诉求之上，如今总算看到令人欣慰的一些成果。     

MEMS和微流体分析系统的发展

微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域，是当今科学技术最具潜力的发展方向之一，而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点。本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景．并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论。MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响。     

GLOBAL FOUNDRIES宣布与SVTC合作，加速推动微机电系统（MEMS）晶圆量产

GLOBALFOUNDRIES宣布与SVTC技术公司结成战略联盟,加速进行微机电系统（MEMS）的量产制造。这项合作着重于技术开发合作，将有助GLOBALFOUNDRIES达成目标。成为MEMS晶圆厂的领导者。     

基于MEMS的微推进系统的研究现状与展望

重点介绍了目前国内外各种MEMS微推进系统的研究现状和不同微推进系统的技术特点，阐述了基于MEMS技术的微推进系统基本特征，并分析了MEMS微推进系统的发展趋势和面临的挑战。     

MEMS技术现状与发展前景

介绍了微电子机械系统（MEMS）技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。     

MEMS代工产业呈高度分散与高竞争性

法国市场研究机构Yole Development针对微机电系统市场发表最新报告指出，目前全球至少50家公司正在提供MEMS代工服务，使得该领域变得高度分散与高竞争性，但又是整体MEMS产业不可缺少的一块。     

MEMS封装和微组装技术面临的挑战

１引言经过近１０年的发展，MEMS（微电机械系统）已从最初的实验探索阶段发展到具有广泛应用的可行技术。在商品消费市场上，MEMS封装和MEMS器件制造业已取得了重大的发展。在MEMS制造中，人们使用了硅基集成电路技术将具有机械特征的尺寸减至微电子尺寸。在同样一块芯片上将机械性能和电子电路结合起来提供了一系列制造新产品的方法，而这些是传统的制造和设计方法不能实现的。最初的MEMS是指以硅为基底的装置，但现在它不只限定于硅材料。MEMS器件已经超出了电子和机械的功能限制。今天，这些器件已具有机械、光学、液体、热功…     

CADENCE混合信号/MEMS协同设计技术

随着汽车与消费电子越来越多的使用微机电系统（MEMS）,工程师需要一个强大的使用系统级芯片技术（SoC）和系统级封装（SiP）技术的MEMS与混合信号协同设计流程,这样在MEMS设计子流程和传统的混合信号子流程之间就需要一个清晰的接口。Cadence VCAD Services已经开发了一种技术用于应对MEMS技术（面向SoC与SiP应用）的特殊需要,这种技术叫做SIMPLI。     

走近MEMS技术(上)

ＭＥＭＳ技术是近年来飞速发展的 一个研究领域。ＭＥＭＳ的英文 全称为Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ－ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ，即微电子机械系统，它主要是指由微机械加工方法加工的微传感器和微执行器，与微电子信号处理和控制电 路有机结合而成的自动化和智能化的微 系统（目前的尺寸为１ｕｍ～１ｍｍ，未 来也有可能达到ｎｍ级）。其中微传感器 获取信息，信号处理与控制电路处理信 息并作出决策，微执行器则实现机械动 作。 ＭＥＭＳ在许多方面具有传统机电 技术所不具备的优势，包括体积和能耗 大大减小、可实现许多全新的功…