| 微机电系统的研究内容与发展现状 |
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| 引用本文： | 李国平,陈子辰.微机电系统的研究内容与发展现状[J].微电子学,2001,31(6):389-391. |
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| 作者姓名： | 李国平 陈子辰 |
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| 作者单位： | 浙江大学机械与能源工程学院生产工程研究所, |
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| 摘 要： | 概述了微机电系统（MEMS）的定义和特征，从理论基础、技术基础和工程应用三方面，阐述了微机电系统的研究内容，简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微执行器 微传感器 集成电路 |
| 文章编号： | 1004-3365(2001)06-0389-03 |
| 修稿时间： | 2001年2月23日 |
Research and Development of Micro-Electro-Mechanical-System |
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| LI Guo ping ,CHEN Zi chen.Research and Development of Micro-Electro-Mechanical-System[J].Microelectronics,2001,31(6):389-391. |
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| Authors: | LI Guo ping CHEN Zi chen |
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| Affiliation: | LI Guo ping 1,2,CHEN Zi chen 1 |
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| Abstract: | The concept of microsystem and its characteristics are summarized The research and development of micro electro mechanical system in theory and technical basis and engineering applications are described And recent progress in this area is reported in the paper |
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| Keywords: | Micro electro mechanical system Microactuator Microsensor |
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