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1.
将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器,静态真空室接于一个比较容器,即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡,真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时,真空计薄膜两侧形成压差,真空计指示读数,继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时,检测的最小可测漏率达10-4~10-5Pa·L/s;而在充压测试时,因受气体温度变化的影响,灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。 相似文献
2.
介绍了用于油田开采工艺的膜片式流量调节阀的结构及其特点,分析了调节阀出口压力、进口压力对其流量的影响。受力分析和现场使用表明:该阀流量恒定精度(即恒流偏差)取决于膜片有效面积S与阀心下端有效面积S′之比,此值为12,其恒流比偏差为0·03,说明该阀的流量恒定精度高;该阀不易被杂质卡死,稀油中直径1mm的砂粒能顺利通过,而不影响阀的功能;膜片式流量调节阀是没有高加工精度要求的部件,普通车床即可生产,因此造价较低。 相似文献
3.
4.
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
5.
对风压传感器的硅橡胶膜片弹性形变进行了理论分析,推测风压传感器的精确度可能受到温度的影响。通过工业压力校准器对传感器进行了压力校验。结果表明,风压传感器的精确度受温度与气压差的影响。该研究结果可用于指导风压传感器进行温度与气压差补偿设计。 相似文献
7.
8.
9.
化工生产过程控制中气动薄膜调节阀的选择 总被引:2,自引:0,他引:2
本文就气动薄膜调节阀类型、作用方式、流量特性和口径大小的选择,结合化工生产的特点作了较详细地阐述。 相似文献
10.
我国金属阳极隔膜法烧碱发展现状与对策 总被引:1,自引:0,他引:1
详细介绍了我国氯碱工业采用金属阳极隔膜法制烧碱的现状及与世界先进水平的差距。提出了包括大力进行以节能为重点的技术改造;调整烧碱产品规格;彻底淘汰和转换石墨阳极隔膜法;推广先进的扩张金属阳极隔膜电解技术以及结合我国国情有计划地发展离子膜法制烧碱技术等改造措施及预期效果。 相似文献