| 压差式漏率测试仪的实验研究 |
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| 引用本文： | 毛福明,张晓兵.压差式漏率测试仪的实验研究[J].真空科学与技术学报,1995(2). |
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| 作者姓名： | 毛福明 张晓兵 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系!南京，210018，东南大学电子工程系!南京，210018 |
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| 摘 要： | 将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器，静态真空室接于一个比较容器，即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡，真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时，真空计薄膜两侧形成压差，真空计指示读数，继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时，检测的最小可测漏率达10－4～10-5Pa·L／s；而在充压测试时，因受气体温度变化的影响，灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。
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| 关 键 词： | 检漏仪 薄膜电容真空计 电容压强计 |
EXPERIMENTAL RESEARCH OF A DIFFERENTIAL PRESSURE LEAK DETECTOR |
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| Mao Fuming,Zhang Xiaobing.EXPERIMENTAL RESEARCH OF A DIFFERENTIAL PRESSURE LEAK DETECTOR[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1995(2). |
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| Authors: | Mao Fuming Zhang Xiaobing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Leak detector Capacitance diaphragm gauge Capacitance manometer |
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