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1.
2.
3.
该文采用原子层沉积在Si/SiO2/TiN基底上制备了20 nm Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)薄膜,并分别以TiN和Cu为盖层构筑了HZO铁电电容器掠入射X射线衍射测试表明,TiN和Cu作为盖层的HZO薄膜都具有明显的正交相系统比较研究了Cu和TiN盖层对HZO薄膜的铁电、漏电和可靠性的影响极化 电压测试表明,TiN和Cu为盖层的HZO薄膜在±4 V扫描电压下,剩余极化强度 (2Pr) 值分别为40.4 μC/cm2和21.2 μC/cm2相应的矫顽电压分别为+1.7 V和+2.0 V极化疲劳与保持特性测试表明,在经过2.3×108循环次数后,以TiN和Cu为盖层的HZO薄膜的2Pr值分别衰减了39.7%和45.6%经过1.3×104 s保持测试,TiN和Cu盖层的HZO薄膜的2Pr值从初始34.4 μC/cm2和17.1 μC/cm2分别下降到了22.6 μC/cm2和1.6 μC/cm2上述结果说明,金属盖层是影响HZO铁电性的一个非常重要的因素盖层的功函数、热膨胀系数、界面缺陷和界面介电层都是导致HZO薄膜铁电性差异的可能机制该文工作对于进一步理解HZO铁电性起源和影响机制提供了有意义的借鉴,将有助于发展未来高性能的HZO铁电存储器和负电容晶体管 相似文献
4.
针对目前莱州湾凹陷南斜坡带KL油田沙河街组三段下亚段陆源碎屑与碳酸盐岩混合沉积形成条件、沉积特征及模式认识程度较低的问题,利用该区壁芯、薄片及扫描电镜等资料,结合构造演化、古气候和古地貌背景,在层序格架约束下研究沉积环境,分析其沉积特征。结果表明,研究区发育混合沉积,形成于宽缓斜坡、亚热带湿润气候,兼具湖平面、物源、水动力条件周期性变化等条件;该混合沉积包括相缘渐变混合与原地混合两种沉积类型,互层式和组分式两种混合模式,以及4种混合样式。两种混合沉积类型沉积机理不同,混合模式及组合样式表现较大差异,因而具有不同的储层微观特征。 相似文献
5.
为揭示全煤厚掘进中煤巷瓦斯涌出规律,采用有限体积法对煤巷掘进过程中巷帮瓦斯压力及巷道瓦斯涌出速率进行数值模拟,瓦斯渗流过程控制方程采用C-N隐式时间积分方案离散化.研究结果表明:掘进煤巷巷帮采动应力集中区煤体渗透率减小对巷帮深处瓦斯向巷道方向运移具有明显的抑制作用;掘进煤巷瓦斯涌出主要集中于迎头部位,致使一个掘进循环周期内掘进煤巷瓦斯涌出总速率波动大. 相似文献
6.
研究了泡生法生长蓝宝石单晶过程中,单晶内的气泡的产生、分布形态以及形成原因等。结果表明,原料的纯度、固液界面的稳定性是决定气泡分布的关键因素,其中固液界面的稳定性又取决于合理的生长工艺条件,尤其是晶体的生长速率和合适的温场设计。 相似文献
7.
黄华 《西南石油大学学报(自然科学版)》2018,40(6):69-76
为厘清陆相盐湖盆地油气形成和运聚特征,以江汉盆地潜江凹陷潜江组为研究对象,通过岩芯分析的古生物、地球化学测试数据等,恢复盐湖古环境,分析盐湖沉积特征,厘定烃源岩发育及其演化特征,探讨油气排烃及运聚特征。研究结果表明,盐湖干湿交替周期变化的古气候,造成了湖盆咸淡交替,形成了碎屑岩、碳酸盐岩、蒸发岩有规律地韵律沉积,沉积岩性为成分复杂的混积岩;盐湖优质烃源岩发育在咸淡转化期,盐湖烃源岩演化相对滞后,发育未熟低熟油演化阶段;特殊的盐湖沉积特征导致了烃源岩排烃效率低,形成了规模巨大的烃源岩油藏;油气主要沿侧向运移,常规砂岩油藏具有顺层、近源、砂控、源控的特点。陆相盐湖盆地的沉积、油气形成与运聚特征与海相或淡水湖盆具有明显差异性,在勘探中应当引起重视。 相似文献
8.
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。 相似文献
9.
10.
选取黄骅坳陷新近系典型辫状河沉积解剖区,利用密井网区动静态资料相结合识别和刻画心滩及其内部结构,在此基础上通过沉积数值模拟探究研究区心滩形成过程,并建立研究区心滩顺流迁移和横向迁移演化模式。结果表明:顺流加积、垂向加积、侧向加积和侵蚀作用共同塑造心滩的形态和内部结构;滩头侵蚀、滩尾顺流加积和垂向加积形成了心滩的顺流生长和垂向生长;侧向加积与侵蚀作用控制心滩的不对称侧向生长过程。 相似文献