微小机电强链中的驱动器

本文介绍了国内外研制成功的可用作微小机电强链驱动的几种微执行器,包括可实现的旋转和直线运动的静电式、电磁式、压电式微马达以及螺线管,详细阐述了其工作原理、机构特点,并对其优缺点进行了分析,同时提出一些改进方案和设计,可作为设计微小机电强链驱动器的参考.     

双层悬空结构片状微电感研究

利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感，并研究了其在S波段的性能。双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上，外径为500μm，匝数为2，导线宽度70μm，导线间距15μm，顶层线圈的悬空高度为20μm，顶层线圈的匝数为1．5，其它结构参数与底层线圈相同。研究表明，所制作的双层结构微电感在2GHz～4GHz时其电感量达到2．2nH，其品质因数达到22。在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程。     

薄膜磁头磁轭制备工艺研究

本文重点讨论了用不同的工艺方法来制备薄膜磁头中的关键元件-磁轭。采用多次光刻的方法克服湿法工艺中磁性膜NiFe层的侧向钻蚀问题，从而实现对磁轭几何尺寸的精确控制，并对几种工艺方法的优缺点作了比较详细的分析。     

一种硅衬底镂空结构的圆形射频微电感

利用MEMS工艺以及硅的湿法刻蚀工艺制作了一种硅衬底镂空结构的圆形射频微电感，并研究了硅衬底背面减薄对射频微电感性能的影响，结果表明：微电感硅衬底经过局部刻蚀减薄后其自谐振频率上升，电感量的频率稳定性提高，而其最大Q值下降。     

高性能螺线管微电感的制作

利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1.82nH.     

微光机电系统的微绞链研制

本文讨论了非硅微机械工艺和微绞链的研制工艺。我们研制的非硅表面微机械工艺采用两次或三次掩模电镀层，聚酰亚胺和光刻胶分别作为底层和第二、第三层的牺牲层。用这套工艺，研制成功了三种不同种类的微绞链。微绞链能在基片表面作０—１８０度自由转动。     

基于ARM的智能仪器人机交互系统设计

针对电力行业智能仪器设计了一种通用的人机交互系统,基于ARM平台对系统硬件进行了模块化设计,详细阐述了系统软件设计程序流程和显示结构,实际使用证明在该ARM硬件平台和软件结构基础上,仅对显示和通信子程序做适当修改,便能运用到各种智能仪器上,节省开发周期,降低开发成本,性能稳定,对智能仪器仪表产品开发具有重要借鉴意义.     

一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明：此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短（约10ms）的特点。     

建立软件实践课程体系，全面培养工程型人才

多年来,如何培养软件技术人才所必须的实践能力、工程能力和创新能力,一直是国内高等教育面临的课题。近年来,北京理工大学软件学院充分发挥自身的机制优势进行了有益的探索,通过调整课程体系、开设实践课程、建设教学平台、改进课程内容等有效手段,完成了由面向独立课程的课程建设向课程体系建设的过渡,由突出理论教学向“实践引领理论”教学的过渡。     

堆泵浦3He-Ar-Xe激光体系小信号增益与效率实验研究

介绍了CFBR-Ⅱ堆泵浦3He-Ar-Xe体系1.73μm波长激光小信号增益和泵浦效率的实验研究.在脉冲峰热中子注量率为6.9×1014cm-2.s-1、3He、Ar、Xe气体的比例为80.219.30.5,总压强为8.3×104Pa时,采用透射率从1.7%到10%的6个谐振腔输出镜均获得了激光输出.在谐振腔输出镜透射率为7%时,得到了激光脉冲峰功率为45mW,其对应的激光泵浦效率为1%.在此基础上,利用Rigroa分析方法拟合出3He-Ar-Xe体系激光的小信号增益为0.24%/cm,饱和光强为36W/cm2.