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己开发出一种利用光学移相、傅里叶交换和空间滤波技术,使基片上的对称图形与中间掩模上的移相图形套准的新型精密对准技术。这两个标记之间的对准是用检测基片对准标记反射光的零阶空间频率先强的最小值点来确定的。此最小值是因两对准标记共心时相位将完全抵消而形成的。所进行的理论分析知计算机模拟证明,这种技术不受对准标记图形线宽和台阶高度变化的影响,也不因制有对准标记的基片材料的光学特征变化而变化。初步实验结果与计算值相当一致。从而证明,这种技术不存在利用栅光图形和检测干涉条纹图像这些技术中所存在的模糊问题。现有结果表明,这种技术的套刻精度可优于0.1μm。 相似文献
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<正>这次全省经济和信息化工作会议主要任务是,全面贯彻落实党的十八大和十八届三中全会精神,按照省委十二届六次全会、全省经济工作会议以及全国工业和信息化工作会议部署,总结去年工作,分析当前形势,明确今年工作要求和任务,动员全系统改革创新、开拓进取,奋力推进工业强省建设。会前,史和平副省长到我委专题调研指导,对今年工作和开好这次会议提出明确要求,我们将认真落实到位。 相似文献
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为提高过热蒸汽系统的运行效率并减少非紧要故障的报警率,本文提出一种质量相关的非线性故障检测与诊断方法.首先,利用核函数将过程变量映射到高维特征空间以消除原始变量之间的非线性耦合.然后,在特征空间进行核直接分解得到两个正交子空间,并在两个子空间中分别设计统计量指标进行质量相关的故障检测.在此基础上,利用偏微分贡献图提取每个变量对联合统计量指标的贡献率,并根据贡献率大小最终确定故障变量.仿真结果表明,所提出的方法能够准确区分影响过热蒸汽温度和不影响过热蒸汽温度的故障,有效降低了非紧要故障的报警率,提高了过热蒸汽系统的运行效率. 相似文献
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动物源食品中硝基呋喃类物质及其代谢物残留的检测技术研究 总被引:10,自引:0,他引:10
呋喃类物质由于它的强毒性和致癌的副作用,已引起世界各国的高度重视。由于呋喃类物质在动物体内稳定性较差,而其代谢物与组织蛋白结合可以形成稳定的化合物,故对于呋喃类物质代谢物的研究和检测的意义就显得更为重要。本文介绍了硝基呋喃类物质的基本种类,分为呋喃唑酮(furazolidone),呋喃西林(nitrofurazone),呋喃妥因(furantoin)和呋喃它酮(furaltadone),及相应的理化特性和目前国内外的应用情况。着重介绍了硝基呋喃类物质代谢物的种类,分为呋喃唑酮(AOZ)、呋喃它酮(AMOZ)、呋喃西林(SEM)和呋喃妥因(AHD),及其毒性和危害;目前各国常用的检测方法有液相色谱-紫外法(HPLC-UV)、液相色谱-质谱法(LC-MS)、液相色谱-串联质谱法(LC-MS/MS)和酶联免疫法(ELISA)。比较了各种方法的工作原理、适用范围以及各自的特点。重点介绍了酶联免疫法(ELISA)的基理、分析方法和注意事项。并就目前国内硝基呋喃类物质代谢物相关检测标准的不足,提出了建议。 相似文献
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一、2012年工作成效和主要特点去年以来,面对严峻复杂的经济形势,全省经信系统紧紧围绕主题主线,深入贯彻省委、省政府全力实施"八项工程"的决策部署,牢牢把握稳中求进总基调,以实施"十二五"规划和万企升级行动计划为抓手,统筹推进稳增长、调结构、抓创新、促转型各项工作,努力使工业经济保持了总体平稳、稳中有进的运行态势,经济和信息化工作取得新进展。主要成效:一是工业平稳增长。1~11月,全省规模以上工业实现增加值 相似文献
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根据我国现行的建筑结构抗震规范,在新建建筑结构和既有建筑结构的抗震评估均通过抗震承载力计算和抗震构造延性措施来达到抗震预防目标,对于具有明显薄弱或者不规则的建筑部位结构需要进行弹性层间变形计算。以层间结构位移和变形构件作为性能参考目标,从定量上和理论上解决了既有钢筋混凝土建筑结构的抗震评估与加固问题。 相似文献
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