微流量泵与微流量传感器的系统集成

介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法，该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。     

热驱动力微型泵的实验研究

本文对热驱动微型泵在空载和有负载情况下的性能进行了实验研究。空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化减缓,振幅变化也将减缓。实验测定了有负载情况下泵的频率特性溶解的东对应于最大流量的频率为３１Ｈｚ;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,     

具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点,本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能,并且制作工艺简单,为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。     

基于Pro／Mechanica提高分析准确度的应用

介绍了基于Pro／Mechanica提高分析精确度的方法。建立了模型绝对精度及零件建模顺序的设置方法,从源头上提高模型建模精度。同时,在网格创建时,引进了常用细分网格的控制项,对奇点产生的原因进行分析并探讨其消除方法。从而提高Pro／Mechanica分析准确度。     

铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析，结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向，中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系，通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向，另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。