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| 微流量泵与微流量传感器的系统集成 | |
| 引用本文： | 庞江涛,战长青.微流量泵与微流量传感器的系统集成[J].功能材料与器件学报,1998,4(2):101-104. |
| 作者姓名： | 庞江涛 战长青 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所 |
| 摘 要： | 介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法，该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。 |
| 关 键 词： | 微流量泵 微流量传感器 系统集成 微机械 |
INTEGRATION OF MICROPUMP AND MICROFLOW SENSOR |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Micropump Driving structure Microflow sensor Integrated system |
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