采用CCl_2F_2/O_2的高深宽比硅槽的刻蚀

本文通过实验和对样品上钝化层成分的分析，提出了ＣＣｌ２Ｆ２／Ｏ２混合气体对单晶硅的各向异性刻蚀机理：在一定功率下，ＣＣｌ２Ｆ２离解出大量的ＣＦｘ粒子和Ｃｌ粒子，在前者对样品的轰击下后者与轰击出的Ｓｉ原子反应生成挥发性的ＳｉＣｌ４，产生刻蚀．Ｏ２的加入一方面形成钝化层ＳｉｘＯｙＦｚ保护侧壁，另一方面通过消耗ＣＦｘ粒子减少其与Ｃｌ粒子的再结合而达到加速目的．探讨了在一定条件下压力和ＩＣＰ功率对刻蚀速率和各向异性的影响．在大量实验的基础上优化各刻蚀参数，在ＩＣＰ７９０设备上刻出了宽３μｍ，深１６μｍ的窄槽，     

《红楼梦》中的明清家具

古典名著《红楼梦》大约写于18世纪50年代的乾隆年间，此时家具正处于从明代风格向清代样式的转型时期。《红楼梦》以贾府的日常生活为主要表现内容，在介绍红楼人物的活动场合时，融入了大量对明清家具的描写。这就为我们了解明清家具提供了宝贵的文字资料。