基于LTCC基板BCB/Cu薄膜混合多层互连技术研究

针对微系统小型化集成对高性能成膜基板需求,研究了基于LTCC基板的BCB/Cu薄膜多层互连关键技术及过程控制要求。提出一种高可靠"T"型界面互连方式的薄膜磁控溅射Cr/Cu/Cr和Cr/Pd/Au复合膜层结构及其制备方法。研究了LTCC基板收缩率偏差、LTCC-薄膜界面缺陷及粗糙度、BCB介质膜固化应力、介质膜金属化的应力等因素对厚薄膜混合基板质量的影响。制备的12层厚薄膜混合基板(10层LTCC基板,2层薄膜布线) 60片,100%全部通过GJB2438 C.2.7成膜基片评价考核要求,相比LTCC基板,布线密度提高4倍,尺寸缩小40%。     

预应力碳纤维板梁底加固施工技术要点分析

预应力碳纤维板技术是一项新型的补强加固技术。与传统的粘贴碳纤维板加固技术相比,该技术能充分利用碳纤维复合材料的高抗拉强度,有效地减小结构原有裂缝宽度和限制裂缝的发展,显著改善结构的工作性。本文以长沙市东二环团结立交桥预应力砼空心板,采用预应力碳纤维板加固为例,分析了预应力碳纤维板梁底加固施工技术的工艺原理,总结了此施工技术的工艺流程及操作要求,实践证明该梁底加固施工技术先进可行,有较好的经济效益和社会效益,为今后类似工程提供了相关经验,具有很好的推广价值。