面向IC装备功能仿真平台的多模式测试方法

为了实现全面对IC装备以及装备功能仿真平台进行功能测试,通过分析装备命令响应特点,提出了包含单指令测试、逻辑指令序列测试以及随机指令序列测试的多模式测试方法;单指令测试验证设备以及由相关设备组成的系统的单指令响应正确性;逻辑指令序列从控制系统角度验证设备或系统的连续动态运行性能;随机指令序列测试验证设备或系统的动态随机响应性能;实际应用表明,提出的测试方法可以满足IC装备功能仿真平台的测试需求。     

数字孪生与生产线仿真技术研究

随着新一代信息技术与制造技术的深度融合,仿真技术正向着信息系统与物理系统深度融合和 高效协同的方向发展,应运而生的数字孪生技术成为近年来的新兴研究热点。为探索采用新一代信息技术促进 离散制造行业数字化转型升级,从仿真技术的发展脉络和应用场景入手,引入基于数字孪生技术开展生产线仿 真分析的研究,介绍了数字孪生技术的概念和内涵,探讨了数字孪生技术与传统计算机仿真技术的关系和异同, 论述了数字孪生技术在生产线仿真分析领域的应用方向,分析了生产线数字孪生模型的构建方法和实现途径, 阐述了国内外研究进展及存在的问题,指出了数字孪生在生产线仿真领域的发展趋势,为离散制造企业跨越物 理资源与数字世界之间的交互鸿沟,建立生产线物理空间与信息空间的交互与共融机制,推进生产线全生命周 期的数字化管理和智能化生产,实现智能制造提供参考。     

面向中小企业有限人员的经验任务分配策略

为保证生产计划的制定合理有效,提出根据任务相似度定量建立员工工作经验模型的方法,并根据经验值获得针对有限人员的多任务分配策略。针对员工按照以往任务的执行情况,对待分配任务的直接经验和间接经验进行了估计;建立了以同等时间中工作量最大为优化目标的任务分配策略;基于不断更新的"人员—任务"关系,最终实现根据员工能力实时的任务分配。通过比较实验发现,该分配策略可以保证在所有员工有限的时间内达到最大的工作量,同时有效提高了员工的工作水平,并保证了员工任务的负载均衡,对合理的工作计划制定具有指导意义。     

研究生精品课程建设的探索与实践--"现代CAD技术"课程的改革

作为研究生精品课程建设的探索与实践,分析了“现代 CAD 技术”课程的国内外状况及原课程教学的优缺点,确立了以少量讲座为先导,以项目训练为主线,注意5 种能力培养的课程建设的指导思想。提出了由三部分内容组成的新的教学体系,并对每一部分内容的教学安排作了详细说明。此外,阐明了对 6 种教学要素的处理方法。最后总结了课程建设所取得的初步成果。     

基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究

从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。     

刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究

450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。     

SIGRAPH—DESIGN环境下的机构装配设计技术

研究了在智能ＣＡＤ系统ＳＩＧＲＡＰＨ－ＤＳＩＧＮ环境下进行机构装配设计的途径，给出了要领设计，装配设计和零件设计的一般方法，并以胶印机中凸轮一连杆机构为例，采用自顶向下的装配设计方法，     

基于 STEP 标准的 CAD 与 CAPP 信息集成

说明了基于标准数据存取接口（ＳＤＡＩ）生成ＳＴＥＰ中性文件实现数据交换的基本思路，提出一个ＣＡＤ与ＣＡＰＰ系统通过ＳＴＥＰ中性文件实现信息集成的方案及一个完整的零件信息模型。最后用一个基于ＡｕｔｏＣＡＤ的特征造型系统给出了实施范例。