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从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。 相似文献
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450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。 相似文献
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为保证生产计划的制定合理有效,提出根据任务相似度定量建立员工工作经验模型的方法,并根据经验值获得针对有限人员的多任务分配策略。针对员工按照以往任务的执行情况,对待分配任务的直接经验和间接经验进行了估计;建立了以同等时间中工作量最大为优化目标的任务分配策略;基于不断更新的"人员—任务"关系,最终实现根据员工能力实时的任务分配。通过比较实验发现,该分配策略可以保证在所有员工有限的时间内达到最大的工作量,同时有效提高了员工的工作水平,并保证了员工任务的负载均衡,对合理的工作计划制定具有指导意义。 相似文献
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基于PLM的产品信息管理系统的设计与开发 总被引:1,自引:0,他引:1
产品全生命周期管理(Product Lifecycle Management,PLM)是信息技术在设计领域中的重要应用,也是众多设计方法的支持技术,在现代设计中起着举足轻重的作用。而产品结构管理(Product Structure Management,PSM)又是产品数据管理中的核心部分之一。现代企业在应用PLM进行产品结构管理(Product Structure Management,PSM)时涉及到的一个重要难题是异构系统(PLM系统与PLM系统,PLM系统与CAD系统)之间的集成。以具体企业实际信息化需求为基础,就该企业复杂产品协同设计平台中的重要模块—产品结构管理模块进行研究,设计并实现了以SolidWorks为CAD工具的产品结构管理系统。 相似文献
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研究了在智能CAD系统SIGRAPH-DSIGN环境下进行机构装配设计的途径,给出了要领设计,装配设计和零件设计的一般方法,并以胶印机中凸轮一连杆机构为例,采用自顶向下的装配设计方法, 相似文献
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协同设计中基于约束的冲突检测与协商技术 总被引:16,自引:0,他引:16
从约束满足的角度 ,对协同设计中的冲突检测与协商问题进行了探讨 ,将产品约束网络按产品级、部件级、零件级和领域级分层管理 ,给出了基于约束验证和区间传播算法的冲突检测方法 ,提出了几个基于回溯策略和约束松弛策略的冲突协商建议产生算法。在此基础上 ,构建了基于Web的协同设计冲突检测与协商系统 ,支持设计专家检测与协调冲突 相似文献
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