半导体设备预测性维修技术

预测性维修是多年来维修领域研究的重点问题,文章从一般预测维修的论点出发,分析比较了修复性维修、预防维修和预测性维修的优缺点,并列举了一些半导体设备预测性维修的措施。半导体设备生产都是流水线作业,生产中任何一台设备发生故障或者失败都会给企业带来停产,造成巨大损失。所以要对重点设备、关键设备进行监控,进行预知性维修,消除隐藏故障,避免发生重大灾难后果。预测性维修是以状态为依据的维修,在机器运行时,对它的主要部位进行定期(或连续)的状态监测和故障诊断,判定装备所处的状态,预测装备状态未来的发展趋势,依据装备的状态发展趋势和可能的故障模式,预先制定预测性维修计划,确定机器启动修理的时间、内容、方式和必需的技术及物资支持。预测性维修集设备状态监测、故障诊断、故障(状态)预测、维修决策支持和维修活动于一体,是一种新兴的维修方式。     

基于改进CORDIC算法实现高速直接数字频率合成器

设计实现了一种高速直接数字频率合成器。利用混合CORDIC算法的思想,用混合角度集代替传统正切角度集,并讨论了在二进制格式下的中间值,采用改进的混合差分CORDIC算法实现了相位幅度的转换。在确保算法的迭代精度和收敛区间的前提下,避免了传统算法中旋转方向依赖于上一次迭代的现象,提高了数据的吞吐量;同时消除了常用冗余算法引进额外电路的情况。分析了采用CORDIC算法所带来的误差,综合考虑精度和电路复杂度,确定字长和迭代次数获得14位的输出有效位。经0.18μm6M2P CMOS工艺流片,在1GHz的工作频率下,输出信号在98.6MHz处,SFDR为68.39dB,整个芯片面积为4.19mm×3.17mm。