模型化测量方法在加速度计摆片参数测量中的应用

传感器制造及校准中，加速度计摆片中的转动惯量Ｊ、阻尼系数Ｄ和挠性梁弹性系数Ｋｃ是经常要测定的量。文中探讨采用模型化测量方法来获得这几个参数。从理论上进行了证明并对测量中的一些问题进行了讨论。     

微加速度计粘附问题的研究及应用

粘附是影响微机电系统(MEMS)可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品——微加速度计的粘附问题进行了研究,给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式,并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中,分析了其对系统结构设计产生的影响。     

叉指式微硅加速度计的参数化设计

详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.     

应用AR模型的IMU误差系数漂移预测研究

将影响IMU误差系数漂移并难于分离的多种因素综合为一种因素，假定IMU误差系数的漂移由一特定系统所引起，从而采用时间序列建模方法进行IMU误差系数漂移的预测。该方法具有消除各因素具体分析中的不确定性并减少其工作员的优点。文中描述了其原理，对某惯组的33个误差系数进行了时间序列建模与预测并得到有效的结果。最后还阐述了存在的问题及其解决方法。     

一种高分辨率电容微加速度计的设计研究

分析了影响加速度计分辨率的因素,在此基础上,通过采用深度反应离子刻蚀工艺获得大的敏感质量和小的电极间隙、采用电容变化量比枝齿梳状敏感结构大一倍的直齿梳状敏感结构和利用静电负刚度来降低结构的刚度等措施提高器件分辨率。最后给出了一种新的设计方案,叙述了其工作原理并分析了影响其闭环灵敏度的因素。     

加速度计动态误差系数一次性标定的仿真研究

在建立加速度计动态误差数学模型的基础上，结合三轴转台模型及测试原理，一次性标定出加速度计动态误差系数，避免了使用角振动台来标定与角加速度有关的误差系数．简化了标定过程，缩短了标定试验时间。最后，利用MATLAB软件进行了仿真试验。     

惯性测量组合射前动态标定误差分析

论述了为延长惯性测量组合的稳定期以及提高短程导弹的命中精度,在导弹临发射前对惯性测量组合影响射击精度大的不稳定参数进行自标定的技术.讨论了在导弹起竖过程中利用加速度计信息标定陀螺不稳定参数的方法.不仅从理论上探讨了射前动态标定方法,而且对射前动态标定存在的主要误差项进行了定量分析,并指出了影响射前动态标定的主要问题.根据对实验结果分析,提出了解决动态标定的关键性问题的方法.     

振弦式加速度计敏感部件设计

文中是利用弦丝谐振频率随其张紧程度变化而变化的特性，对加速度计敏感部件进行设计研究。通过精密的结构设计和工艺设计，使敏感部件具有良好的稳定性、线性及低的温度误差。当符合要求的两个敏感部件装配成差动输出的加速度计，可测量范围为0～60g，线性小于0．15％，温度误差小于0．15％。     

差频式微机械加速度计的建模与仿真

针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的.最终得到一个较理想的加速度计结构.