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采用物理气相传输(PVT)工艺,成功制备出3英寸高纯半绝缘(HPSI)6H-SiC单晶。依据氮在碳化硅晶格中占碳位的规律,通过生长过程温度和压力等工艺参数的优化,减少生长前沿碳空位的数量,实现了在较高碳硅比气氛下低氮含量碳化硅单晶生长的目标。二次离子质谱(SIMS)测试给出了晶体中氮及其他杂质的控制水平,证明单晶的高纯属性;非接触电阻率Mapping(CORE-MA)和电子顺磁共振(EPR)测试进一步证实其高纯半绝缘特性。 相似文献
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文章主要介绍了地下连续墙施工技术在某大厦基坑围护结构中的应用。首先分析了该技术的工艺设计参数,然后具体介绍了该工艺的施工工艺流程,认为导墙施工、泥浆的使用以及混凝土的浇灌是连续墙施工的关键,最后给出了施工中易出现的槽壁塌方及槽壁倾斜两种问题的原因分析及处理措施。 相似文献
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采用物理气相传输法在SiC异质籽晶上制备了AlN单晶。通过Raman光谱仪、X射线衍射仪、二次离子质谱仪和X射线光电子能谱研究了AlN单晶的结晶质量和杂质成分,针对不同的杂质成分提出了相应的处理方式。结果表明:C、O为AlN单晶中的主要杂质元素,其中C元素为非故意掺杂,与AlN单晶的生长环境密切相关,随着生长晶体厚度的增加,C杂质元素的含量逐渐降低。而O元素除了源粉和生长系统中吸附氧外,还与抛光过程中形成的氧化物层有关;经腐蚀和退火处理,AlN表面氧化物的含量大幅降低,N/Al摩尔比接近1;经杂质处理后的AlN单晶片可作为同质生长的籽晶。 相似文献
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介绍了双变量电动静液作动器(EHA, Electro hydrostatic Actuator)系统的结构组成与工作原理,分别基于AMESim和MATLAB软件,建立了其机械、液压部分的模型和电机、控制部分的模型,并采用接口技术将二者结合,建立了其完整的非线性数学模型。采用分配解耦控制策略以及AMESim和MATLAB联合仿真技术对其进行阶跃和正弦响应性能仿真分析。仿真结果表明:所设计的双变量EHA系统原理正确,满足性能要求。分配解耦控制策略可以很好地解决双变量EHA系统的相乘非线性问题,保证了系统的刚度和鲁棒性。 相似文献
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