用多光束干涉实现纳米级阵列图形的长焦深光刻

用多束相干光适当组合干涉曝光,得到的图形与基片在干涉场内的纵向位置z无关,与x、y位置呈周期关系,光的相干长度对应传统光学光刻的焦深。该方法适合大尺寸基片上纳米级孔、锥阵列图形的制作。模拟了双光束双曝光、三光束单曝光和四光束单曝光的干涉场光强分布,用波长为441.6nm的激光曝光得到尺寸为200nm的孔阵和点阵的图形。     

波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法

激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长 的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方法。用自行建立的梯形棱镜波前分割系统进行了多光束干涉曝光实验,得到孔尺寸约220nm的阵列图形。     

振幅分割无掩模激光干涉光刻的实现方法

无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割。研究和比较了振幅分割无 掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光束干涉系统、三光束干涉系统、液浸式深紫外干涉系统及全自动干涉光刻系统。建立了双光束双曝光干涉光刻实验系统。模拟和实验结果表明,对点阵或孔阵图形,在同样的图形尺度下,无掩模干涉光刻比传统光刻简单得多。     

优选电网规划方案的灰色关联法

研究电网规划的经济性和可靠性具有重大的现实意义,在简要介绍了电网规划的两个阶段的基础上,针对优选电网规划方案进行了研究,提出了一种新的基于灰色关联法的电网规划方案优选方法,从经济性和技术性上全面考虑了影响电网规划的重要因素。以一个实际电网接入系统规划设计为例说明了所提出的新方法的有效性,结果表明该方法简单并且可以快速地优选出最优的电网规划方案,对电力系统的设计和规划人员起到一定的辅助作用。     

基于REST软件体系结构研究及应用

针对显示层、中间件层、服务层强耦合的问题,通过对表述性状态转移（REST）软件架构的研究,降低开发的复杂性,提高系统的可伸缩性,给出其在ICT（Information Communication Technology）中点击拨号系统中的运用,验证简化REST软件架构设计的有效性,以及通过分离客户端代码和服务器端代码,实现易于测试和维护、可复用性高等优点。     

西安户外运动人群夏季生理参数及热舒适的关联性研究

不同人群对热条件的偏好可能会有所不同,这取决于本地的气候特点.当人群从一个气候区迁移到另一个气候区时,因迁移形成的气候地域变化被作为影响人体生理参数和热舒适的重要因素.通过招募大一学生(n=61)于2021年5月16日至5月28日在西安校园里进行户外运动.研究期间对热舒适和心率、氧饱和度等生理参数进行了调查.结果表明,...     

不同产地煤系高岭土的结晶度及有序度研究

不同产地的高岭土因其形成条件不同,高岭土晶体的形态、结晶程度和有序度也有很大的差异。产地不同、有序度不同、结晶形态各异的高岭土的各种工业指标是不同的。从山西浑源、山西河曲、山西朔州和湖北宜都选取了4种不同产地的高岭土,采用XRD、SEM、化学全分析以及IR光谱分析、热分析等测试手段对不同产地高岭土的矿物成分和结晶度进行分析计算,对解决煤系高岭土深加工和应用过程中所遇到的与之有关的问题有重要的意义。     

电气类专业英语教学方法初探

自动控制专业英语是电气类专业高职教育的一门专业基础课程,随着我国电气行业对外交流与合作的增强,其重要性对于电气类技术专业的毕业生也越来越明显。因此,通过对电气自动化技术专业英语教学的研究,分析目前专业英语教学的现状及存在的问题,从专业英语教学的计划、师资队伍建设、教学方法上对提高专业英语教学的效果进行初步探讨。     

高速列车半主动悬挂系统遗传优化模糊控制

为有效抑制高速列车车体的横向振动,在ADAMS/Rail软件中建立列车横向半主动悬挂动力学模型,在Matlab中编写遗传算法程序,提出采用浮点数与整数混合编码和基于个体适应度值标准差的自适应遗传交叉、变异概率的方法,优化半主动模糊控制器的量化因子、比例因子、隶属度函数和模糊规则,以车体前后两端横向振动加速度的均方根值作为遗传算法优化性能指标,不断优化半主动悬挂系统的模糊控制器。联合仿真结果表明：采用遗传优化设计模糊半主动悬挂,能有效抑制车体横向振动加速度,改善列车的乘坐舒适性。     

镍基复合材料涂层的激光熔覆制备及表征

利用激光熔覆技术在在0Cr18Ni9奥氏体不锈钢表面制备了NiCr/Cr3C2-MoS2-BaF2复合材料耐磨自润滑涂层,采用X衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）分析了熔覆层的物相组成及显微组织,采用显微硬度计测试了涂层沿层深方向的显微硬度分布,并在室温环境下对涂层进行干滑动摩擦磨损试验。结果表明：涂层主要由γ-( Ni,Fe)共晶化合物、碳化物硬质Cr7C3、CrS以及少量的MoS2润滑相和少量BaF2组成,熔覆层的显微硬度平均值约为783 HV0.2,是基体的2.44倍,熔覆层总体摩擦因数和磨损率明显低于基体,磨损率约为基体的1/5。磨损过程中产生的润滑氧化膜有利于提高其耐磨损性能。