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镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件 总被引:6,自引:0,他引:6
为解决铝萍膜和银萍膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐馈性差、工作低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上,对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究,并将其集成在耐高温压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试,结果表明传感器可在室温至200℃温度范围工作并达到较高精度,可以推广使用。 相似文献
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晶心科技(Andes)多年来的研发使命为持续开发具备整合性、延展性、设计弹性的CPU与设计平台,并提供广泛的产品线及多功能的开发工具,以满足IC设计及系统厂商的需求。首度扩大举办至三场的第七届"晶心嵌入技术论坛"日前在上海圆满召开,论坛以"迈向微化极速的智能新纪元"为年度研讨主轴,提供从网络通讯 相似文献
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随着近年来MEMS-CAD的迅速发展,阳极键合技术作为MEMS领域的基础工艺,其模拟仿真受到了重视.本文分析现有的阳极键合电流模型产生偏差的原因,在实验基础上,给出一组定量模拟平面电极键合电流的公式.结合点电极键合的扩展模型,提出点电极键合电流的计算方法.实验证明这种方法给出的模拟公式实际反映了点电极键合电流的变化规律. 相似文献
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INTRODUCTION0~nocSetheconductorcoolershavebeeninproductionforfourdecades.Withtheprogressofscienceandtechnology,theaPPlicationofsemiconductorcoolershasbeengraduallyi.c..i.g[']becauseoftheiradvantagesofsmallsize,lightweight,nomechanicalvibration,nowearandnonoise,noeffectofgravityandnopollution;fultllermore,adjustablecoolingrateandeasytemperatureandheattransfercontrolbynotonlycoolingbutalsoheating.SincethefirstinternationalThermoelectricityConferencein1976,15meetingshavebeenheld,andnewresea… 相似文献
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一种新型压电式双向无阀微泵的研制 总被引:4,自引:1,他引:4
采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110 V、频率为40 Hz时,微泵的正向最大泵压为120 mm水柱,频率为50-90 Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35 Hz时,微泵的反向最大泵压为70 mm水柱,最大流量56μl/min. 相似文献
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校内实验室开设微电子生产实习的探索 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子芯片生产的"超净"限制了学生在大企业芯片生产线上的实习机会.为此,我校在校内实验室建立了微电子平面工艺线,为学生开设生产实习.在教师指导下,学生动手进行晶体管制作的全部工艺操作和测试.为使学生对实际工业化生产方式和生产过程有所了解,我们对教学内容进行合理安排,生产实习前增设了认识实习.实践证明,校内生产实习有助于学生实践能力的培养和综合素质的提高. 相似文献
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MEMS中的静电-热键合技术 总被引:1,自引:0,他引:1
在研制压力传感器时,采用静电一热键合相结合的方法,对Si/Au—Glass、Si/Au—Glass/Si结构的键合技术进行了研究.硅与淀积有金加热器引线玻璃的封接:先以Si/Glass静电键合方法进行,再400℃退火2h,使Si/Au热键合.用一次充氮真空检漏法对键合形成的绝压腔进行了测试,结果显示:键合界面接合牢固、气密.此技术被用于Si/Au—Glass/Si结构自检测压力传感器的键合封接,经对传感器测试,性能良好,具有自检测功能. 相似文献
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技术进步对煤炭产业经济增长的贡献率研究 总被引:3,自引:0,他引:3
技术进步是促进总量或行业经济增长的重要因素。在分析煤炭产业及其技术进步的特点、技术进步对煤炭产业经济增长的作用的基础上,综合应用生产函数方法和陕西省1985~2005年的统计数据,初步测算得出煤炭产值增长函数中技术进步系数λ≈0.144%、技术进步的贡献平均为0.8922,技术进步平均贡献份额为42.72%,表明技术进步对煤炭产业经济的贡献较高。 相似文献