硅深刻蚀中掩蔽层材料刻蚀选择比的研究

基于硅的高深宽比微细结构是先进微器件的关键结构之一,在其加工工艺中,具有高选择比的掩蔽层材料是该结构实现的重要保证.研究了在感应耦合等离子体刻蚀过程中射频功率和气体流量对不同材料刻蚀性能的影响,获得了在SF6等离子体中Si,SiO2,MgO以及Al等材料的刻蚀速率,同时获得了在该等离子体中Si相对SiO2,MgO以及Al的选择比.通过比较研究,得到了硅深刻蚀中最佳的掩蔽层材料及刻蚀工艺参数.     

配合物K2[Y^Ⅲ（dtpa）（H2O）]·7H2O的合成及结构研究

介绍了稀土金属离子Y^Ⅲ与氨基多羧酸类配体二乙三胺五乙酸（dtpa）形成的配合物的分子结构。配合物K2[Y^Ⅲ（dtpa）（H2O）]·7H2O中Y^Ⅲ与来自同一个二乙三胺五乙酸的3个氮原子和5个羧基氧原子及一个水分子的氧原子配位,配位数为9,形成单帽四方反棱柱体结构。     

计量的自闭与发展

计量,是科技的先行、经济的支撑、公平的基石,素有科学、严谨、规范的职业要求。然而,对于一些要求片面的、肤浅的认识也在一定程度上禁锢了计量的发展。避开错误认知,面向质量、围绕产业、贴近工程,才能找到计量的正确发展方向。     

超声辅助离子液体/阴离子表面活性剂双水相萃取虎杖中的虎杖苷和白藜芦醇

将超声辅助离子液体/阴离子表面活性剂双水相萃取和高效液相色谱法相结合,建立一种简单、绿色、高效的分析方法用于检测虎杖中的虎杖苷和白藜芦醇。本研究以水溶性离子液体为萃取剂,以阴离子表面活性剂为成相盐,在超声的辅助作用下,目标分析物被萃取于离子液体中。实验结果表明,最佳提取条件为:以400μL 1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐为萃取剂,0.16 g十二烷基苯磺酸钠为成相盐,样品溶液pH 7.0,超声时间20 min,超声功率160 W。各化合物在线性范围内都具有良好的线性关系(r0.9995),日内和日间精密度分别低于3.27%和6.31%,检出限和定量限分别为2.8~12.3和9.4~41.1 ng/mL,样品加标回收率在86.88~94.13%之间。本研究采用离子液体代替传统的有机溶剂作为萃取剂,集提取、分离和纯化于一体,具有操作简单、溶剂用量少、提取时间短等优点,可广泛应用于中药活性成分的提取与分析。     

轴承支座对轴流风机性能试验的影响

为了研究风机性能试验中支承结构与风机出口的距离对性能试验的影响,采用理论分析和CFD数值模拟相结合的方法进行研究。分析轴流风机性能试验中C型装置的轴承支座对出口气流的阻碍作用。利用FLUENT软件对试验装置的三维流场进行数值模拟,计算了轴承支座与风机出口的距离不同时,全压效率与流量间的关系,并用ANSYS对结构进行了强度和刚度分析。结果表明轴承支座距离风机出口过近时会显著影响试验结果,应在风机性能试验台的设计过程中加以注意。     

吸附作用对煤层瓦斯渗流影响的模拟研究

运用Fluent软件,在考虑煤层瓦斯吸附作用基础上,建立瓦斯渗流模型,并对比不同吸附能力煤样中瓦斯渗流情况,得出结论:(1)煤层瓦斯渗流在多孔介质孔隙粘性阻力影响下,轴向速度在径向各处呈均一分布趋势;(2)在煤的吸附作用下,瓦斯流速随轴向距离增加逐渐降低;(3)吸附能力越强的煤样,瓦斯所受吸附影响越大,吸附过程对煤样瓦斯运移的影响不可忽略。     

硅深刻蚀技术中钝化工艺的研究

穿透硅通孔技术是实现3D集成封装的关键技术之一,而交替复合深刻蚀技术是实现穿透硅通孔的重要方式。本文分别采用CF4、C4F8和O2研究交替复合深刻蚀中的钝化工艺,用X射线能谱测试仪分析了不同气体在硅表面产生的钝化薄膜,为硅深刻蚀技术的实现奠定了基础。     

用厨房垃圾的乳酸发酵液合成丙交酯的研究

以营养丰富的厨房垃圾为原料,通过接种乳酸菌发酵,得到了乳酸含量为31.47g?L?1的厨房垃圾发酵液;用电渗析法从厨房垃圾发酵液中提取乳酸,将电渗析分离液经减压脱水浓缩至乳酸含量为70%~80%(wt),作为合成丙交酯的原料。选用氧化锌作为解聚剂,分析纯D,L-乳酸作为原料通过正交设计实验确定了生成丙交酯的最佳条件为:预聚温度150℃,预聚时间3h,解聚剂用量为1.0%(wt),解聚温度220℃;在此条件下,以厨房垃圾发酵液提取的乳酸为原料合成丙交酯,其产率为60%。该丙交酯经熔点测定、红外光谱和核磁共振分析的结果表明:用厨房垃圾的乳酸发酵液合成的丙交酯为D,L-丙交酯。本工艺不但可降低丙交酯的生产成本,而且解决了厨房垃圾的环境污染问题。     

工件内部管道的工业CT虚拟内窥显示

许多工件内部含有管道,管道内窥显示可直观地显示管道内部结构和缺陷,对工业质量检测和无损探伤等具有重要意义。在工业CT断层图像序列的基础上,采用区域生长法对图像切片进行分割,然后对管道截面进行圆拟合,为了使得到的图像比较平滑,采用B样条对管道的轴心和半径进行插值拟合,并对管道进行三维显示和虚拟内窥显示。实验结果证实了该算法的有效性。     

原位聚合羟基磷灰石/聚醚醚酮复合材料

通过原位聚合法制备HA/PEEK复合材料,利用X射线衍射仪、红外光谱仪、差示扫描量热仪、扫描电镜对PEEK、HA/PEEK复合材料进行表征。研究表明,基体PEEK的聚合过程受到一定的影响;HA颗粒在基体之中有着优异的分散性。将PEEK、HA/PEEK复合材料压模成型,通过拉伸试验和硬度测量检测材料的力学性能,结果表明,HA的加入对复合材料的力学性能产生较大的影响。