腔室状态对图形化蓝宝石衬底刻蚀工艺的影响

图形化蓝宝石衬底是近年来针对高度发光二极管的应用要求发展起来的一种新技术。通过利用自主研制的工业化感性耦合等离子体刻蚀机对图形化蓝宝石衬底的刻蚀工艺进行了研究。采用光学发射光谱仪和扫描电镜研究了PSS生产过程中腔室状态的变化对蓝宝石的刻蚀速率、选择比和图形形貌的影响。研究结果表明:随着反应腔累积放电时间的增加,刻蚀速率呈现下降趋势,选择比呈先上升然后下降的趋势。该趋势由反应腔室内表面上的沉积物所引起。     

等离子体浸没离子注入技术与设备研究

基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法--等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统.采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度.     

三维物体的重建方法

综述了三维物体重建的各种方法。首先介绍被动还原重建的几种方法,指出了它们的缺陷,即像素匹配问题。接着介绍了从二维坐标空间转化到三维坐标空间所要遵从的对极几何限制,并通过数学推导得出坐标转化表达式。在此基础上重点讨论了三维物体主动还原重建方式,特别是结构光还原的方法,通过结构光的引入,能够较好地解决像素匹配问题,提高了还原的准确性,减少了拍照的次数,有利于动态物体的重建。根据双色反射模型,通过让系统的光路满足反射定理,且角度为60°,可改善主动还原重建方法对物体颜色限制在中性色的条件。最后讨论了精确匹配和消除强光的方法。     

表面修饰法制备大面积石墨烯

We develop a novel and convenient method to prepare large area single-layer and multi-layer graphene through surface modification with oxygen plasma.The obtained large area single-layer graphene is dozens of microns wide in the lateral dimension and characterized by optical microscopy,atomic force microscopy.Raman spectroscopy show multilayer graphene has less disorder density than single-layer graphene.X-ray photoelectron spectroscopy（XPS） analysis shows that hydroxyl groups are formed on the HOPG surface during oxygen plasma pre-treatment.Hydrogen bonds develop between hydroxyl groups on HOPG surface and silanol groups on hydroxylated SiO₂/Si substrate,which facilitate the transfer process.This study may provide a potential approach to develop graphene-based devices by using the large area lithographic printing process.     

浅谈堆载预压在软弱地基中应用技术

堆载预压法具有工程造价低、施工操作简单、环境污染小等特点,因此在建筑工程软弱地基处理中广泛应用。本文笔者将结合具体的建筑工程施工实例,检验探讨堆载预压法在软弱地基处理中的应用,希望能对类似工程起到借鉴作用。     

基于模型的无线信道分组传输特性仿真研究

结合使用Gilbert模型和Jakes改进模型,对无线移动信道模型进行仿真,准确地模拟了实际中的无线多径衰落信道。改进的信道模型中增加了突发错误状态,更加符合实际信道特征。仿真结果证明了丢包率与分组大小之间近似为线性关系,曲线的斜率随误比特率的增长呈线性增长模式。     

磁存储器驱动电路界面平坦化研究

利用原子力显微镜（AFM）和扫描电镜（SEM）对磁存储器(MRAM)驱动电路与存储单元--磁性隧道结(MTJ)的连接界面的表面平坦化进行了研究. 原子力显微镜照片表明：磁控溅射沉积的金属铝膜的表面由尺寸约为300nm的颗粒组成，其表面粗糙度约为几十纳米的量级，用统计平均值（均方根值root mean square,RMS）描述约为10nm；在铝膜的表面沉积一层难溶金属Ti或Ta膜以后，可很好地改善过渡层金属表面的平坦化效果. 通过用化学机械平坦化设备(chemical mechanical planarization,CMP) 在小压力和低转速的条件下，可使过渡层金属表面的RMS值达到小于1nm的平坦化效果. 扫描电镜照片的结果也显示：利用光刻胶平坦化，然后通过调节反应离子刻蚀的条件，使刻蚀的过程中对氧化硅和光刻胶的刻蚀速率相等，去掉光刻胶，达到平坦化整个芯片表面的效果.     

SiO2/Ta界面反应及其对铜扩散的影响

利用磁控溅射方法在表面有SiO2层的Si基片上溅射Ta/NiFe薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)研究了SiO2/Ta界面以及Ta5Si3标准样品,并进行计算机谱图拟合分析.实验结果表明在制备态下在SiO2/Ta界面处发生了热力学上有利的化学反应:37Ta+15SiO2=5Ta5Si3+6Ta2O5,界面处形成更稳定的化合物新相Ta5Si3、Ta2O5.在采用Ta作阻挡层的ULSI铜互连结构中这些反应产物可能有利于对Cu扩散的阻挡.     

注塑工艺对长玻纤增强聚丙烯材料性能及外观的影响研究

通过熔融挤出浸渍方法,制备了30%纤维含量的长玻纤增强聚丙烯材料(PP-LGF30),研究了在不同注塑工艺条件下,PP-LGF30复合材料的力学性能变化规律,纤维保留长度,以及制品外观状态。结果表明,提高注塑温度,增大射咀口径,降低储料与射胶过程的速度与压力,可使PP-LGF30复合材料的拉伸强度与缺口冲击强度提高;增大射咀口径可提高纤维在制品中的保留长度;提高注塑温度,增大射胶速度与压力,可降低纤维外漏程度,改善制品的外观状态。     

介绍一套性能优异的Hi—Fi级家庭影院器材

笔者自认为是有一定基础的发烧友,各种家庭影院器材虽琳琅满目,但深入分析,大致归纳为二类“发烧”玩法:一类为纯AV,这一类多采用3D系统,玩AV尚可,听Hi—Fi却实在不敢恭维。另一类是Hi—Fi型玩法。这类玩法的特点是器材搭配灵活,能充分兼顾Hi—Fi与AV,而且升级容易,是目前众多发烧友普遍采用的一种玩法。笔者经过对市场上多种器材的分析试听比较后,精心搭配了一套家庭影院系统。经邀请多位资深发烧友试听欣赏,无不为其声像合一,声场宏大的