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采用特别设计的InGaAsP/InP多量子阱结构(MQW),研究了Cl2/H2电感耦合等离子体(ICP)刻蚀损伤,优化了低损伤ICP刻蚀的关键工艺参数,得到了一种低损伤、形貌良好的Bragg光栅的制作方法。结合优化的InP材料金属有机物化学气相沉积(MOCVD)外延生长工艺,制作出1.55μm分布反馈(DFB)激光器,端面镀膜前其阈值电流和斜率效率分别为15mA和0.3mW/mA,边模抑制比大于45dB。寿命加速老化实验结果显示,该器件40℃的中值寿命超过2×106h,表明了本文ICP光栅刻蚀工艺的可靠性。 相似文献
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针对传统成像技术的成像速度慢且灵敏度低,本 文采用光波映射展宽技术搭建一个一 维稀疏图像实时获取系统,以实现高速图像的实时获取。基于空间光栅的空-频映射以 及色散光纤的 频-时映射,充分利用傅里叶变换的色散效果,使得系统简化并能够实现实时处理的性能 。从光栅公式入手,对系统的量程和空间分辨率进行了初步分析,并通过系统实验将 上述理论结果 进行验证。实验表明,本文系统能够将一维的条形码以20.9MHz的帧 率在示波器上实时成像,比目前的常用成像技术高4个量级。 相似文献
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